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TEL与ASML合力研制下一代NA EUV光刻机,预计2023年投入运行

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CDer:000544289
发表于 2021-06-10 11:28 超大游击队员 | 显示全部楼层 |阅读模式

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据悉,日本最大半导体成膜、蚀刻设备公司东京电子宣布,将在镀膜/显影技术上与ASML合作,以联合推进其下一代NA EUV光刻机的研制,确保2023年投入运行。
参与该EUV光刻机研发的还有比利时的欧洲微电子中心。

东京电子表示,自旋金属抗蚀剂已显示出高分辨率和高蚀刻电阻,并有望使图案更加精细。
然而,含有金属的抗蚀剂也需要复杂的图案尺寸控制以及对晶片背面/斜面金属污染的较好控制。
为了应对这些挑战,涂层/开发人员正在联合高NA实验室安装先进的工艺模块,能够处理含金属的抗蚀剂。

有观点将当前ASML已经出货的NXE:3400B/3400C乃至年底的3600D称作第一代EUV光刻机,依据是物镜的NA(数值孔径)为0.33,所谓下一代也就是第二代的NA提升到0.55。

0.55NA比0.33NA有着太多优势,包括更高的对比度、图形曝光更低的成本、更高的生产效率等。

EXE:5000之后
还有EXE:5200
它们将是2nm、1nm的主要依托。
https://m.chinaflashmarket.com/news/174771
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CDer:001092830
发表于 2021-06-10 12:06 | 显示全部楼层
牛X归牛X,假设TG市场能自给率70%后(最重要的前提),对于TG外的半导体制造行业怕是毁灭性打击吧,离了TG市场,阿斯麦的EUV怕市场有限也使用成本极高吧。

——所以加油早日实现半导体70%的自给啊
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CDer:001203095
发表于 2021-06-10 12:17 超大游击队员 | 显示全部楼层
不如相忘123 发表于 2021-06-10 12:06
牛X归牛X,假设TG市场能自给率70%后(最重要的前提),对于TG外的半导体制造行业怕是毁灭性打击吧,离了TG ...

只要能国产14纳米光刻机,半导体自给份额70%台alml就没有资金支撑下一代研发。
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CDer:001184164
发表于 2021-06-10 13:14 | 显示全部楼层

RE: TEL与ASML合力研制下一代NA EUV光刻机,预计2023年投入运行

不如相忘123 发表于 2021-06-10 12:06
牛X归牛X,假设TG市场能自给率70%后(最重要的前提),对于TG外的半导体制造行业怕是毁灭性打击吧,离了TG ...

到那时,就是两个世界,独立发展,各玩各的
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CDer:001122883
发表于 2021-06-10 14:05 超大游击队员 | 显示全部楼层
不如相忘123 发表于 2021-06-10 12:06
牛X归牛X,假设TG市场能自给率70%后(最重要的前提),对于TG外的半导体制造行业怕是毁灭性打击吧,离了TG ...

不需要这么多。

只要中国做出来并表示不买他们的,他们的款期就没有了。。。
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CDer:000408631
发表于 2021-06-10 14:07 超大游击队员 | 显示全部楼层
ahuobao 发表于 2021-06-10 12:17
只要能国产14纳米光刻机,半导体自给份额70%台alml就没有资金支撑下一代研发。

所以他跑的快我们不用急,他的路越走越窄,我们会越走越宽,把亚非拉的地盘稳住就可以立于不败之地
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CDer:001166540
发表于 2021-06-10 15:21 超大游击队员 | 显示全部楼层
不如相忘123 发表于 2021-06-10 12:06
牛X归牛X,假设TG市场能自给率70%后(最重要的前提),对于TG外的半导体制造行业怕是毁灭性打击吧,离了TG ...

没用的,如果中国和西方分开过的话,中国用不了那么多的芯片,西方市场不会接受中国芯片的产品的。
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CDer:001092830
发表于 2021-06-10 15:36 | 显示全部楼层

RE: TEL与ASML合力研制下一代NA EUV光刻机,预计2023年投入运行

历史小白 发表于 2021-06-10 15:21
没用的,如果中国和西方分开过的话,中国用不了那么多的芯片,西方市场不会接受中国芯片的产品的。


届时可能要提出建设”智慧中国“(前几天那个白皮书提出的也类似数字基建的概念),算力不会嫌多,升级成功后面对MD就有点类似工业国对农业国的优势了。
另外朋友圈里的国家也能消化产能与建立新的经济循环。

而且分开过西方受的冲击更大,中国是当今世界第一大市场。
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CDer:001193351
发表于 2021-06-10 18:20 超大游击队员 | 显示全部楼层
历史小白 发表于 2021-06-10 15:21
没用的,如果中国和西方分开过的话,中国用不了那么多的芯片,西方市场不会接受中国芯片的产品的。

拿下一带一路的市场也比现在靠组装机赚钱。高通卖出一枚芯片的利润够小米卖好几部手机,小米股价上不去就是因为利润低。
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