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这报道的euv光源是啥意思

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CDer:001155816
发表于 2021-06-08 10:25 超大游击队员 | 显示全部楼层 |阅读模式
是以前的原型机还是真的要来了?给献礼预热?

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发表于 2021-06-08 10:36 超大游击队员 | 显示全部楼层
期待7.1,看看兔子兜兜里攒了多少好东西
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CDer:001170221
发表于 2021-06-08 10:38 | 显示全部楼层
好一个即将
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CDer:000460643
发表于 2021-06-08 11:07 超大游击队员 | 显示全部楼层
@havok 大佬,这个消息可靠性如何?
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CDer:000613267
发表于 2021-06-08 11:41 | 显示全部楼层

RE: 这报道的euv光源是啥意思

本帖最后由 账号已被盗 于 2021-06-08 11:44 编辑

上海光机所搞定了?!

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CDer:001162574
发表于 2021-06-08 12:20 超大游击队员 | 显示全部楼层
账号已被盗 发表于 2021-06-08 11:41
上海光机所搞定了?!

什么叫搞定了?原理样机?工程样机?量产机器?
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CDer:000406621
发表于 2021-06-08 12:26 超大游击队员 | 显示全部楼层
虽然我很希望能快速突破,但是菊厂影业这个自媒体的话可信度相当低!
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CDer:001115174
发表于 2021-06-08 12:29 超大游击队员 | 显示全部楼层
自媒体不一定准的
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CDer:001109843
发表于 2021-06-08 13:09 超大游击队员 | 显示全部楼层
从自媒体嘴里了解核心装备进展,这个属于智商问题。
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CDer:001155816
 楼主| 发表于 2021-06-08 13:10 超大游击队员 | 显示全部楼层
凤鸣九皋 发表于 2021-06-08 13:09
从自媒体嘴里了解核心装备进展,这个属于智商问题。

也没有其他渠道了解,不像你们内行人
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CDer:000838547
发表于 2021-06-08 13:18 超大游击队员 | 显示全部楼层
账号已被盗 发表于 2021-06-08 11:41
上海光机所搞定了?!

13.5纳米?怎么理解?
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CDer:001170122
发表于 2021-06-08 13:31 超大游击队员 | 显示全部楼层
神棍不可信
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CDer:001167118
发表于 2021-06-08 13:43 超大游击队员 | 显示全部楼层
好,争取搞定国产EUV光刻机!!!'
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CDer:000613267
发表于 2021-06-08 13:46 | 显示全部楼层

RE: 这报道的euv光源是啥意思


单次曝光13.5nm双层曝光就是5-6nm,三次曝光就是3nm,台积电就是这么玩的EUV
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CDer:001170122
发表于 2021-06-08 13:55 超大游击队员 | 显示全部楼层
这个人老神棍了,没什么可信度
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CDer:001178084
发表于 2021-06-08 14:27 | 显示全部楼层

RE: 这报道的euv光源是啥意思

账号已被盗 发表于 2021-06-08 13:46
单次曝光13.5nm双层曝光就是5-6nm,三次曝光就是3nm,台积电就是这么玩的EUV

这要是真能实现3NM的话,2025计划就真的有可能实现
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CDer:001166674
发表于 2021-06-08 14:40 | 显示全部楼层
好像中国可以造euv,就是功率只有20w
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CDer:000544289
发表于 2021-06-08 15:01 超大游击队员 | 显示全部楼层
爱国者168 发表于 2021-06-08 14:40
好像中国可以造euv,就是功率只有20w

10年前的光源功率,现在的进展与成果都是未知。
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CDer:001166674
发表于 2021-06-08 15:42 | 显示全部楼层
直接拿医院x射线光源来造光刻机,波长10纳米一下,比euv波长还短,没办法就用核辐射的伽马射线波长0.1纳米
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CDer:001166596
发表于 2021-06-08 15:45 | 显示全部楼层
havok  楼主| 发表于 2021-01-12 14:21 | 只看该作者
RE: 中国电科(北京)集成电路核心装备自主化及产业化建设项目(一期)开工
寂静之月 发表于 2021-01-12 14:09
对了目前针对90,65nm这种12吋入门的工艺有没有全国产产线在做?

ICRD有90-65nm工艺12吋中试线,不过里面设备不是全国产。【ICRD现在还有国产EUV光刻设备在做工艺研发】,估计很多人不知道

如果所言不虚,那EUV原型机早就有了。
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CDer:000613267
发表于 2021-06-08 16:17 | 显示全部楼层

RE: 这报道的euv光源是啥意思

huangminsen1997 发表于 2021-06-08 15:45
havok  楼主| 发表于 2021-01-12 14:21 | 只看该作者
RE: 中国电科(北京)集成电路核心装备自主化及产业 ...

https://lt.cjdby.net/forum.php?mod=viewthread&tid=2876262&extra=page%3D4

原理样机2017年验收,大致相当于ASML2006年的状态

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CDer:001166596
发表于 2021-06-08 17:01 | 显示全部楼层

RE: 这报道的euv光源是啥意思

账号已被盗 发表于 2021-06-08 16:17
https://lt.cjdby.net/forum.php?mod=viewthread&tid=2876262&extra=page%3D4

原理样机2017年验收,大 ...

指的是能拿去进行工艺开发的原型机。
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CDer:001169206
发表于 2021-06-08 17:03 超大游击队员 | 显示全部楼层
账号已被盗 发表于 2021-06-08 11:41
上海光机所搞定了?!

一堆不懂行的自媒体意淫自嗨罢了
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CDer:000613267
发表于 2021-06-08 17:09 | 显示全部楼层

RE: 这报道的euv光源是啥意思

huangminsen1997 发表于 2021-06-08 17:01
指的是能拿去进行工艺开发的原型机。

那得等2025年,上海光机所计划是2025出预量产型。
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CDer:001125647
发表于 2021-06-08 17:47 超大游击队员 | 显示全部楼层
黑色枪骑士 发表于 2021-06-08 12:29
自媒体不一定准的

10年,从理论到实验,清华大学这项和光刻机相关的成果引关注
2021-02-25 16:10:08 来源: 科技日报 作者: 林莉君
科技日报记者林莉君

在芯片制造业中,光刻机是必不可少的精密设备——每颗芯片诞生之初,都要经过光刻技术的锻造。也正因为此,与之相关的突破性研究成果备受关注。

2月25日,清华大学的一项科研成果刊登在《自然》上,引起了国内外学术界及产业界的高度关注。《自然》评阅人认为其“展示了一种新的方法论”,“必将引起粒子加速器和同步辐射领域的兴趣”。

这篇题为《稳态微聚束原理的实验演示》的论文,报告了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”(Steady-state microbunching,SSMB)的首个原理验证实验。由清华大学工程物理系唐传祥教授研究组和亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心、德国联邦物理技术研究院合作完成。



SSMB原理验证实验示意图(图片来源:《自然》)

《自然》相关评论文章写到“该实验展示了如何结合现有两类主要加速器光源——同步辐射光源及自由电子激光的特性。SSMB光源未来有望应用于EUV(极紫外光源)光刻和角分辨光电子能谱学等领域。”

“这也是国际社会关注我们这项研究的重要原因,毕竟SSMB光源的潜在应用之一就是作为未来EUV光刻机的光源。”论文第一作者、清华大学工程物理系2015级博士生邓秀杰接受科技日报记者采访时说。荷兰阿斯麦(ASML)公司是目前世界上唯一的EUV光刻机供应商,每台EUV光刻机售价超过1亿美元。

“EUV光刻机工作相当于用波长只有头发直径一万分之一的极紫外光,在晶圆上雕刻电路,能够让指甲盖大小的芯片包含上百亿个晶体管。阿斯麦光刻机用的就是高能脉冲激光轰击液态锡靶,形成等离子体后产生波长13.5纳米的EUV光源,功率约250瓦。”邓秀杰告诉记者,光刻机的曝光分辨率与波长直接相关。随着芯片工艺节点的不断缩小,光刻机对EUV光源功率的要求将不断提升,达到千瓦量级。

早在2010年,斯坦福大学教授、清华大学杰出访问教授赵午与其博士生DanielRatner就提出了SSMB概念。2017年,唐传祥与赵午发起这项实验,唐传祥研究组主导完成了实验的理论分析和物理设计,并开发测试实验的激光系统、与合作单位进行实验、完成了实验数据分析与文章的撰写。

由于SSMB涉及的物理效应多、实验难度大,清华团队成员曾先后8次前往柏林,参与从实验准备到操作的各个环节。实验中,研究团队利用波长1064纳米的激光操控位于柏林的储存环MLS内的电子束,使电子束绕环一整圈(周长48米)后形成精细的微结构,即微聚束。验证了SSMB的工作机理。



SSMB原理验证实验结果(图片来源:《自然》)

“每个人都很拼,我们的论文是去年3月提交的,由于这是一项全新的内容,让审稿人‘get’到这个实验的‘点’并不容易,期间经过了9个多月的审稿时间。尤其是第二稿,我们花了3个月的时间修改完善。和第一稿比起来,除了核心的实验数据没有变化,在表述方法、视觉展示处理等方面都做了调整,可以说是字斟句酌。”回忆起论文发表过程,邓秀杰深感不易,“我们希望论文的每一个字都能禁得住时间的考验。当然,这个过程对我们自身也是一次难得的锻炼和提高。”

对于外界的关注,唐传祥严谨地表示,基于SSMB的EUV光源有望解决自主研发光刻机中最核心的“卡脖子”难题。但是,EUV光刻机的自主研发还有很长的路要走,这需要SSMB EUV光源的持续科技攻关,也需要上下游产业链的配合,才能获得真正成功。
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CDer:001125647
发表于 2021-06-08 17:49 超大游击队员 | 显示全部楼层
10年,从理论到实验,清华大学这项和光刻机相关的成果引关注(文章我上传了在审核,不是来自自媒体,2月论文就发到《自然》上了)
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CDer:001125647
发表于 2021-06-08 17:51 超大游击队员 | 显示全部楼层
先发个截图看能不能发上来

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发表于 2021-06-08 17:54 超大游击队员 | 显示全部楼层
紫薯布丁,紫薯布丁

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发表于 2021-06-08 17:57 超大游击队员 | 显示全部楼层
zxd1981 发表于 2021-06-08 10:36
期待7.1,看看兔子兜兜里攒了多少好东西

中电科xx所七一献礼
以上文字睡着了脸滚键盘打出
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CDer:000613267
发表于 2021-06-08 18:11 | 显示全部楼层

RE: 这报道的euv光源是啥意思

本帖最后由 账号已被盗 于 2021-06-08 18:17 编辑
军事与科技粉 发表于 2021-06-08 17:47
10年,从理论到实验,清华大学这项和光刻机相关的成果引关注
2021-02-25 16:10:08 来源: 科技日报 作者 ...


SSMB技术路线十年之内都没法量产商用的,看看就好,远水解不了近渴!
http://m.elecfans.com/article/1532598.html

https://lt.cjdby.net/forum.php?mod=viewthread&tid=2756775&mobile=no
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CDer:001125647
发表于 2021-06-08 18:20 超大游击队员 | 显示全部楼层
账号已被盗 发表于 2021-06-08 18:11
SSMB技术路线十年之内都没法量产商用的,看看就好,远水解不了近渴!
http://m.elecfans.com/article/ ...

现在已经突破了,可以走向工程化了。
再说远水是多远,2年还是6年还是10年?
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CDer:000341912
发表于 2021-06-08 18:54 | 显示全部楼层

RE: 这报道的euv光源是啥意思

爱国者168 发表于 2021-06-08 15:42
直接拿医院x射线光源来造光刻机,波长10纳米一下,比euv波长还短,没办法就用核辐射的伽马射线波长0.1纳米{ ...

你的这个想法在20年前就有人考虑过了,当时干法光刻机停在了193nm就无法继续搞下去了,有人想到了X光,当然还有EUV极紫外光(ASML就是那时候进入美国的那个EUV协会的),当时当年有人(台积电)提出了浸润式光刻这种湿法方案的概念,而当时光刻机行业则是日本佳能与尼康的天下,ASML还是从飞利浦脱离出来的一个厂家,只是当年美国佬要整日本厂家高看了ASML一眼,ASML根据台积电的需求做了还是工作在DUV深紫外光波段的浸润式光刻机,所以光刻就突破了200nm线宽,而0.13um(130nm)工艺就是这么来的,而日本佳能与尼康却固守干法光刻机很多年,ASML就怎么混上来的,佳能与尼康也想做DUV湿法光刻机但最终也卖不动了。而在7nm线宽以下DUV湿法工艺就做不下去了,所以EUV极紫外光的商业需求就来了,ASML五年前就完成了对于美国光源公司的收购,EUV光刻机就是成了ASML的独门生意。线宽越来越窄,漏电现象也越来明显,所以才有FinFet工艺,到了5nm以下也不顶用了,所以要用到了立体封装,晶圆代工厂亲自做,传统的封测公司做不了这个生意。而物理极限已到,线宽的追求就已经到头走不下去了,关键是成本的极限已到(硅基的逻辑电路的高制程突破根本也是市场容量的因数,并不是只有提高电路密度就一定能提高算力功率效费比的,追求的最终就是客户越来越少则没有了经济规模,这条路就走不下去了)。
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CDer:000114850
发表于 2021-06-08 19:29 | 显示全部楼层

RE: 这报道的euv光源是啥意思

playfish 发表于 2021-06-08 17:57
中电科xx所七一献礼
以上文字睡着了脸滚键盘打出

键盘型枕头已邮出,晚上枕着睡
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CDer:001170221
发表于 2021-06-08 19:52 | 显示全部楼层

RE: 这报道的euv光源是啥意思

playfish 发表于 2021-06-08 17:57
中电科xx所七一献礼
以上文字睡着了脸滚键盘打出

到时候会公开消息么,还是内部献礼不对外公示
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CDer:000413886
发表于 2021-06-08 19:54 | 显示全部楼层

RE: 这报道的euv光源是啥意思

本帖最后由 havok 于 2021-06-08 20:00 编辑
huangminsen1997 发表于 2021-06-08 15:45
havok  楼主| 发表于 2021-01-12 14:21 | 只看该作者
RE: 中国电科(北京)集成电路核心装备自主化及产业 ...


ICRD嘉定厂已主体厂房封顶。
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CDer:000406621
发表于 2021-06-08 20:05 | 显示全部楼层

RE: 这报道的euv光源是啥意思

havok 发表于 2021-06-08 19:54
ICRD嘉定厂已主体厂房封顶。

不太懂,只能猜光刻机或者光源了,还得请大佬解惑。
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CDer:001202884
发表于 2021-06-08 20:30 超大游击队员 | 显示全部楼层
huangminsen1997 发表于 2021-06-08 15:45
havok  楼主| 发表于 2021-01-12 14:21 | 只看该作者
RE: 中国电科(北京)集成电路核心装备自主化及产业 ...

好像EUV光刻机原理样机在17年的时候就验收了
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CDer:001155804
发表于 2021-06-08 20:31 超大游击队员 | 显示全部楼层
罗衫浪子 发表于 2021-06-08 20:05
不太懂,只能猜光刻机或者光源了,还得请大佬解惑。

据说是和华为合作的自主可控的芯片生产线。
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CDer:001083245
发表于 2021-06-08 20:34 | 显示全部楼层
看来是某些自媒体消息
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发表于 2021-06-08 20:35 | 显示全部楼层

RE: 这报道的euv光源是啥意思

Guigui123 发表于 2021-06-08 20:31
据说是和华为合作的自主可控的芯片生产线。


那个,havok编辑帖子了,之前那句话后面还有,“ICRD嘉定厂已主体厂房封顶,上光所、上海激光等离子体研究所、上海神光装备等也在嘉定,所以这个厂还有哪些功能?”
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