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原来精密机床真的是高端光刻机研制的核心技术之一

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CDer:000290626
发表于 2021-05-02 02:15 | 显示全部楼层 |阅读模式

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这个视频,是刚结束的 “2021中国实体经济论坛”上面,中国机床工具协会原高级顾问邵钦作的发言。里面有提到光刻机的问题

邵钦作说:现在国产光刻机面临的难题,有很大一部分是光刻机核心零部件加工水平的问题。他说中电科的领导找到他,告诉他现在中电科已经设计好了35nm光刻机。里面几个关键部件需要精密加工,问他国产机床能不能胜任。他说选择给中电科挑选国产机床里面最好的,可以达到他们的精度要求。

邵钦作还说咱们日后要做13nm的光刻机,国产机床也需要继续攻关




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CDer:001051719
发表于 2021-05-02 02:30 超大游击队员 | 显示全部楼层
~( ̄▽ ̄~)~

光刻机三大样中,工作台或对准系统就是要高精度机床加工。

所以EUV光刻机能解决,许多其他加工问题都能解决
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发表于 2021-05-02 06:44 超大游击队员 | 显示全部楼层
半导体的本质就是精密制造
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CDer:000761264
发表于 2021-05-02 06:49 超大游击队员 | 显示全部楼层
光刻机本身就是精密机床
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CDer:001169128
发表于 2021-05-02 07:27 超大游击队员 | 显示全部楼层
是的,没有高精密加工技术,就不会有半导体技术发展
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CDer:001170122
发表于 2021-05-02 07:53 超大游击队员 | 显示全部楼层
国产机床就比较麻烦了,毕竟水平比较差
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CDer:001116553
发表于 2021-05-02 08:15 超大游击队员 | 显示全部楼层
35NM都还没有搞出来?不是有 人说28nm都可以建线了吗?
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CDer:001170122
发表于 2021-05-02 08:17 超大游击队员 | 显示全部楼层
zttzyy 发表于 2021-05-02 08:15
35NM都还没有搞出来?不是有 人说28nm都可以建线了吗?

不是一个公司的,这是中电科,28nm是上海微电子
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CDer:000167155
发表于 2021-05-02 08:44 | 显示全部楼层
操蛋的是 最终又回到没有合适的高级技工,信不信
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CDer:001072430
发表于 2021-05-02 09:28 | 显示全部楼层
所以有些人臆想28nm光刻机多几次套刻就能造7nm的,精度达不到造个锺子!
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CDer:001181717
发表于 2021-05-02 09:34 | 显示全部楼层

RE: 原来精密机床真的是高端光刻机研制的核心技术之一

不了你 发表于 2021-05-02 08:44
操蛋的是 最终又回到没有合适的高级技工,信不信

高端制造原本就是一环扣一环,任何一个环节的短板都会成为致命的卡脖子节点。
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CDer:001099480
发表于 2021-05-02 09:42 超大游击队员 | 显示全部楼层
zttzyy 发表于 2021-05-02 08:15
35NM都还没有搞出来?不是有 人说28nm都可以建线了吗?

你看原文,35nm,加工問題解決了,這種機床,大概只有少數國家掌握,那些吹台灣機床的,可以別做夢了!
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CDer:001118429
发表于 2021-05-02 10:49 超大游击队员 | 显示全部楼层
qwert813 发表于 2021-05-02 09:28
所以有些人臆想28nm光刻机多几次套刻就能造7nm的,精度达不到造个锺子!

28纳米的光刻机是可以套刻出7纳米的精度这个不是臆想,台积电就是用DUV的28纳米技术套刻出最早的7纳米的电路,中芯国际也是用DUV光刻机现在研发7纳米电路,但是估计制造成本和良品率都有问题,可以造出来,但是成本高,良品率相对高
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CDer:001129102
发表于 2021-05-02 11:14 | 显示全部楼层
应该可以进口欧洲 包括瑞士的机床
不会被卡脖子
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CDer:001211092
发表于 2021-05-02 11:25 | 显示全部楼层

RE: 原来精密机床真的是高端光刻机研制的核心技术之一

号称世界最全,可是功能部件大量选用台湾的,这不是扯吗?竞争不过进口,就要国家出手,这个专项搞了多少年了,还没解决,和汽车行业一样不争气
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CDer:001129102
发表于 2021-05-02 11:27 | 显示全部楼层

RE: 原来精密机床真的是高端光刻机研制的核心技术之一

wjy_2000 发表于 2021-05-02 11:25
号称世界最全,可是功能部件大量选用台湾的,这不是扯吗?竞争不过进口,就要国家出手,这个专项搞了多少年 ...

这机床专项大概也上百亿了 不知道用到哪里
触目惊心...
国家现在好像也放弃了,民用自己搞吧
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CDer:001129102
发表于 2021-05-02 11:28 | 显示全部楼层
机床的专项
掏了这么多钱 ,几乎没啥很大进步
我怀疑,要是没有专项  ,国产机床发展到今天,也不会比现在差到哪里去
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CDer:000818220
发表于 2021-05-02 11:36 | 显示全部楼层
其实这是我国目前行业的普遍存在的问题,高端数控机床、高端医疗设备、发动机、半导体、仪器仪表这些对精度、耐用性、可靠性要求标准极高的装备短板非常明显。国产目前这些领域距离西方有较大差距,短时间内赶不上。
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CDer:001170122
发表于 2021-05-02 11:39 超大游击队员 | 显示全部楼层
diyid888 发表于 2021-05-02 11:14
应该可以进口欧洲 包括瑞士的机床
不会被卡脖子

这是国企嘛毕竟,如果私企肯定不会考虑国产机床
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CDer:000818220
发表于 2021-05-02 11:43 | 显示全部楼层

RE: 原来精密机床真的是高端光刻机研制的核心技术之一

本帖最后由 贫道本是昆仑客 于 2021-05-02 22:37 编辑
diyid888 发表于 2021-05-02 11:28
机床的专项
掏了这么多钱 ,几乎没啥很大进步
我怀疑,要是没有专项  ,国产机床发展到今天,也不会比现 ...


根源还是专业技能教育欠缺,像德国瑞士机床的先进是建立在其本国完善发达的专业技能教育体系基础上的,没有成熟高水平的技工,机械制造这块很难有大幅提升,我国的教育体制相比之下是有很大问题的。社会盲目追求所谓的大学升学率,不仅加剧了高考内卷化,造成大学生过多,带来了巨大的就业压力,最后高不成,低不就,一边机械制造行业又极度欠缺高水平的人才。
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CDer:000988310
发表于 2021-05-02 11:54 | 显示全部楼层
很多人在抱怨,其实进步已进很大了。
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CDer:000290626
 楼主| 发表于 2021-05-02 11:59 | 显示全部楼层

RE: 原来精密机床真的是高端光刻机研制的核心技术之一

ji300p32p17 发表于 2021-05-02 11:39
这是国企嘛毕竟,如果私企肯定不会考虑国产机床

不一定。国企很多时候反而不在乎买贵的进口货,私企会注重价比而选择国产货

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CDer:001170122
发表于 2021-05-02 12:11 超大游击队员 | 显示全部楼层
kukiyi 发表于 2021-05-02 11:59
不一定。国企很多时候反而不在乎买贵的进口货,私企会注重价比而选择国产货

我的意思是,国企更容易被制裁,倒不是说国企多有担当。
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CDer:001179667
发表于 2021-05-02 12:14 | 显示全部楼层
中国现在的技术可以做精密高端机床,但是做出来不赚钱。因为现在高端机床需求大部分在欧美日,这些地方国内的企业是竞争不过日德的机床企业的。不过至少解决了国内的需求问题,像近些年的军工快速发展,就离不开国内的精密机床的发展。
随着国内产业,特别是制造业的升级,高端精密机床的需求肯定会水涨船高的。
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CDer:000424960
发表于 2021-05-02 12:31 超大游击队员 | 显示全部楼层
有两家企业竞争就是好
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CDer:001129102
发表于 2021-05-02 12:44 | 显示全部楼层

RE: 原来精密机床真的是高端光刻机研制的核心技术之一

贫道本是昆仑客 发表于 2021-05-02 11:43
根源还是专业技能教育欠缺,像德国瑞士机床的先进是建立在其本国完善领先的专业技能教育体系基础上的, ...

还不如台湾机床
现在国内生产线大量进口台湾机床,还有很多机床零部件需要从台湾进口
荒谬
再如何也不会比台湾差
这些企业自己不好好做,满脑心思只想  国家补助
一旦真正解决问题了,估计就拿不到国家专项了
所以进取心 不够强,钱给太多了也不是好事
轻轻松松 拿到国家钱,谁还去 要死要活的干活啊
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CDer:001198559
发表于 2021-05-02 14:08 | 显示全部楼层

RE: 原来精密机床真的是高端光刻机研制的核心技术之一

wjy_2000 发表于 2021-05-02 11:25
号称世界最全,可是功能部件大量选用台湾的,这不是扯吗?竞争不过进口,就要国家出手,这个专项搞了多少年 ...

见鬼呢?你觉得给光刻机磨物镜的超精密数控磨床功能部件是那个位面台湾造出来的?
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CDer:001166596
发表于 2021-05-02 14:56 | 显示全部楼层

RE: 原来精密机床真的是高端光刻机研制的核心技术之一

diyid888 发表于 2021-05-02 12:44
还不如台湾机床
现在国内生产线大量进口台湾机床,还有很多机床零部件需要从台湾进口
荒谬

给多了骂给少了也骂。精神分裂要治。
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CDer:001166596
发表于 2021-05-02 14:59 | 显示全部楼层

RE: 原来精密机床真的是高端光刻机研制的核心技术之一

kukiyi 发表于 2021-05-02 11:59
不一定。国企很多时候反而不在乎买贵的进口货,私企会注重价比而选择国产货

落后领域哪来的性价比。如果私企因为注重性价比选择国产货那也就不用扶持了,毕竟日本现在能在中端机床称霸靠的就是性价比。
对机床这种东西来说,比起价钱,稳定性寿命加工精度远远重要,这影响到他们的赚钱效率。
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CDer:000290626
 楼主| 发表于 2021-05-02 15:02 | 显示全部楼层

RE: 原来精密机床真的是高端光刻机研制的核心技术之一

huangminsen1997 发表于 2021-05-02 14:59
落后领域哪来的性价比。如果私企因为注重性价比选择国产货那也就不用扶持了,毕竟日本现在能在中端机床称 ...

https://lt.cjdby.net/forum.php?mod=viewthread&tid=2783659
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CDer:000415693
发表于 2021-05-02 15:52 超大游击队员 | 显示全部楼层
扯j8蛋  机床不是问题   瞎弄
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CDer:001099480
发表于 2021-05-02 16:32 超大游击队员 | 显示全部楼层
diyid888 发表于 2021-05-02 12:44
还不如台湾机床
现在国内生产线大量进口台湾机床,还有很多机床零部件需要从台湾进口
荒谬

台灣基本上做不出高階機床。
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CDer:001099480
发表于 2021-05-02 16:33 超大游击队员 | 显示全部楼层
huangminsen1997 发表于 2021-05-02 14:56
给多了骂给少了也骂。精神分裂要治。

他是有目的的!
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CDer:001072430
发表于 2021-05-02 16:34 超大游击队员 | 显示全部楼层
js530408 发表于 2021-05-02 10:49
28纳米的光刻机是可以套刻出7纳米的精度这个不是臆想,台积电就是用DUV的28纳米技术套刻出最早的7纳米的 ...

一本正经的胡说。
都是波长193纳米的DUV光刻机,为什么还分35纳米和28纳米?不如直接叫七纳米好了!
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发表于 2021-05-02 16:34 超大游击队员 | 显示全部楼层
wjy_2000 发表于 2021-05-02 11:25
号称世界最全,可是功能部件大量选用台湾的,这不是扯吗?竞争不过进口,就要国家出手,这个专项搞了多少年 ...

進口日本的,比較多!
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发表于 2021-05-02 16:36 超大游击队员 | 显示全部楼层
diyid888 发表于 2021-05-02 12:44
还不如台湾机床
现在国内生产线大量进口台湾机床,还有很多机床零部件需要从台湾进口
荒谬

哪有啊!台灣機床,大部分是台商在用!真到有要求的零件,還是上日本的!
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CDer:001099480
发表于 2021-05-02 16:37 超大游击队员 | 显示全部楼层
A-SET三号机 发表于 2021-05-02 14:08
见鬼呢?你觉得给光刻机磨物镜的超精密数控磨床功能部件是那个位面台湾造出来的?

台灣機床,一半是用日本的零件組裝。
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CDer:000159547
发表于 2021-05-02 17:14 | 显示全部楼层

RE: 原来精密机床真的是高端光刻机研制的核心技术之一

zttzyy 发表于 2021-05-02 08:15
35NM都还没有搞出来?不是有 人说28nm都可以建线了吗?

35NM这个指标没听说过,只有65NM、45NM、28NM......这样的指标,如果你按光波长的话DUV是193NM,EUV13.5NM,下面那个13NM倒是跟EUV波长对得上。但这个信息不确定。
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CDer:001211092
发表于 2021-05-02 17:26 | 显示全部楼层

RE: 原来精密机床真的是高端光刻机研制的核心技术之一

华为杀入智能汽车行业,让这个行业看到了翻身的希望,什么时候华为会杀入数控机床行业啊?国内太缺少华为这种真心投入研发,切实攻坚克难的企业了,大都是玩什么商业模式创新的
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 楼主| 发表于 2021-05-02 17:30 | 显示全部楼层

RE: 原来精密机床真的是高端光刻机研制的核心技术之一

fireeyes 发表于 2021-05-02 17:14
35NM这个指标没听说过,只有65NM、45NM、28NM......这样的指标,如果你按光波长的话DUV是193NM,EUV13.5N ...

有40nm,32nm节点

再说这些节点名称都是厂家推销的名词,也不是真正对应的物理尺寸。

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