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离子注入机也分几纳米的吗?

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CDer:001165112
发表于 2021-04-14 23:43 超大游击队员 | 显示全部楼层 |阅读模式

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离子注入机也分几纳米的吗?那目前三星三纳米工艺用什么离子注入机?
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CDer:001085905
发表于 2021-04-15 10:06 | 显示全部楼层
还有个问题,光刻胶也分几纳米吗?193纳米的深紫外线在水中的波长也是固定的,为什么要分28纳米的、14纳米的、7纳米的光刻胶?
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CDer:001129102
发表于 2021-04-15 11:50 | 显示全部楼层

RE: 离子注入机也分几纳米的吗?

bh4pny 发表于 2021-04-15 10:06
还有个问题,光刻胶也分几纳米吗?193纳米的深紫外线在水中的波长也是固定的,为什么要分28纳米的、14纳米 ...

当然分啦
不同工艺  都成分不同
有的还差异很大
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CDer:001112231
发表于 2021-04-15 13:04 | 显示全部楼层
应该都分,
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CDer:001194669
发表于 2021-05-08 11:17 | 显示全部楼层

RE: 离子注入机也分几纳米的吗?

bh4pny 发表于 2021-04-15 10:06
还有个问题,光刻胶也分几纳米吗?193纳米的深紫外线在水中的波长也是固定的,为什么要分28纳米的、14纳米 ...

这个还真分,https://mp.weixin.qq.com/s/kAb8J1_atjxCl4QZgcMkYA
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