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EUV光刻系统中的德国部分的几个关键人物

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CDer:000952083
发表于 2021-04-04 21:55 | 显示全部楼层 |阅读模式

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本帖最后由 urin1010 于 2021-04-04 22:13 编辑

EUV光刻机是目前地球上最复杂的尖端单体制造工具,目前为止还是欧美诸国通力协作完成的产物,他们任何一国都无法把其制造出来。拿ASML这个最后的集成主机厂来说,在EUV光刻机上,大致零部件总量足有200多万个以上,光供应商就超过3万家,其中荷兰本土的供应商约为总采购占比的三分之一,可见其复杂程度。可以说凝聚了各行业优秀及尖端企业。荷兰部分占比最大,但德国供应部分还是占最关键核心里的大头,其中光源的激光器由德国通快提供,镜头来自蔡司SMT(半导体制造技术-也就是半导体设备),而EUV的关键实现方式来自德国弗朗恩霍夫应用促进协会下的IOF(光学与精密工程研究所)。
前不久颁发的2020年德国未来奖就颁给了这三家单位的相关负责人,以表彰他们的为此做出的杰出贡献。
下面简单介绍下此三人:
Peter Kuerz
彼得 库尔兹,蔡司SMT高NA(数值孔径)EUV(也就是ASML下一代0.5NA的光刻系统)的责任人。补充说明蔡司是1995年正式进入EUV领域研究,当初第一批相关单位有ASML,德国西门子光刻研发,德国lambda physik(已被美国相干收购),美国At&t贝尔实验室,美国AMD,德国HOECHST(德国化工巨头,如今属于法国药企巨头赛诺菲旗下),美国桑迪亚国家实验室,欧洲核能协会等离子研究所euratom-fom association(荷兰)等。此人1999年成为蔡司EUV项目负责人,并连同ASML完成第一个演示工具ALPHA。现任蔡司SMT HIGH-NA EUV细分的副总裁。
Michael koesters
迈克尔 寇斯特斯,德国通快激光迪林根中心二氧化碳锡滴LPP激光器研发主任。前波恩大学物理研究所研究员,2010年加入通快,2011年进入EUV激光器项目,专长光学晶体研究。
Sergiy Yulin
希尔盖 尤林,(苏联时期)乌克兰哈尔卡夫卡拉津大学博士学位(苏联博士难于上青天),1999年加入弗朗恩霍夫应用促进协会的IOF,如今是此EUV团队的负责人,专长高精密镜头的镀膜(当年苏联就擅长这玩意),是这方面国际公认的顶级专家。其重要的合作伙伴就是德国BühlerLeybold Optics的NESSY SYSTEM真空镀膜机,在尤林博士的建议和不断使用下,该公司产品已经发展到第三代。
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CDer:001116553
发表于 2021-04-04 23:48 超大游击队员 | 显示全部楼层
若干年前到德国,受当地一家企业的管理人员邀请到家里做客,他家的地下室里,居然有机床和各种机械,这是他的业余爱好!德国工业发达,不是没有道理的。
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CDer:001129102
发表于 2021-04-05 07:21 | 显示全部楼层
最难最难得还是光源
其他虽然也难
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CDer:000818220
发表于 2021-04-05 08:45 超大游击队员 | 显示全部楼层
当年上海微电老总去德国考察,就提到过德国用于光刻机的一块镜片打磨就是由一个家族专门负责,那个家族三代人就只干这件事,换了别人,马上精度差了几百倍。
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CDer:001168810
发表于 2021-04-05 08:54 超大游击队员 | 显示全部楼层
zttzyy 发表于 2021-04-04 23:48
若干年前到德国,受当地一家企业的管理人员邀请到家里做客,他家的地下室里,居然有机床和各种机械,这是他 ...

家里有机床。这已经不是财务自由那么简单了。
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CDer:001113860
发表于 2021-04-05 09:13 超大游击队员 | 显示全部楼层
自由灯塔真理报 发表于 2021-04-05 08:54
家里有机床。这已经不是财务自由那么简单了。

首先得有地下室,这个在国内就做不到
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CDer:000952083
 楼主| 发表于 2021-04-05 09:14 超大游击队员 | 显示全部楼层
diyid888 发表于 2021-04-05 07:21
最难最难得还是光源
其他虽然也难

单独零部件来说镜头最难。对国内来说,子系统都能搞定,就是整机还需要一段时间。
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发表于 2021-04-05 09:16 超大游击队员 | 显示全部楼层
贫道本是昆仑客 发表于 2021-04-05 08:45
当年上海微电老总去德国考察,就提到过德国用于光刻机的一块镜片打磨就是由一个家族专门负责,那个家族三代 ...

这种模式难以为继,后代不愿意干了怎么办? 而且靠手工来维持先进工艺靠不住,人家发明了更先进的设备来打磨 岂不是降维打击
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发表于 2021-04-05 09:18 超大游击队员 | 显示全部楼层
200万个零部件夸张了,这是把螺母也算上了,再牛逼的设备,能把别人拉开距离的零件估计就那么几个,甚至一个
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CDer:000114850
发表于 2021-04-05 09:24 超大游击队员 | 显示全部楼层
自由灯塔真理报 发表于 2021-04-05 08:54
家里有机床。这已经不是财务自由那么简单了。

小型3轴4轴数控床很多的,没几个钱,关键是要有放床子材料工具的地,国内车库太小,除非专门用来当仓库,不然只能勉强停车用
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CDer:000114850
发表于 2021-04-05 09:30 超大游击队员 | 显示全部楼层
贫道本是昆仑客 发表于 2021-04-05 08:45
当年上海微电老总去德国考察,就提到过德国用于光刻机的一块镜片打磨就是由一个家族专门负责,那个家族三代 ...

这种模式早晚没戏,十来年前考察螺杆举升机也是这个情况,举升机螺杆是瑞士一个家族企业提供,其实就一个几十人的作坊,几代传承的工艺,代代完善做到精益求精。当时我们嫌贵,后来找到国内一家山东军工企业,给坦克发动机供应曲轴的,工艺能满足,就是工艺里有一步热处理需要的炉膛长,厂家直接定做个放大版的,解决问题,价格低到瑞士那家的二成。
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CDer:000818220
发表于 2021-04-05 09:31 | 显示全部楼层

RE: EUV光刻系统中的德国部分的几个关键人物

火鸡的祝福 发表于 2021-04-05 09:16
这种模式难以为继,后代不愿意干了怎么办? 而且靠手工来维持先进工艺靠不住,人家发明了更先进的设备来 ...

人家也是用设备打磨的,再先进的设备还是离不开人来操作。
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CDer:000114850
发表于 2021-04-05 09:33 超大游击队员 | 显示全部楼层
家族企业模式涉及工艺的很容易被工业化对手凭成本淘汰,真正难对付的是掌握材料秘方的家族企业或者机器暂时无法替代人的工艺
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CDer:001162350
发表于 2021-04-05 09:50 超大游击队员 | 显示全部楼层

Re.EUV光刻系统中的德国部分的几个关键人物

好多油纸包。  地上都埋不下了。
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 楼主| 发表于 2021-04-05 09:58 超大游击队员 | 显示全部楼层
zxd1981 发表于 2021-04-05 09:30
这种模式早晚没戏,十来年前考察螺杆举升机也是这个情况,举升机螺杆是瑞士一个家族企业提供,其实就一个 ...

实际上蔡司镜头已经是机器抛光了。前端用奥美特,打磨则是蔡司自己搞的定向设备。90年代开始,蔡司已经用机器打磨了,hermle是之前采购的对应设备。
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CDer:000435261
发表于 2021-04-05 10:10 超大游击队员 | 显示全部楼层

Re.EUV光刻系统中的德国部分的几个关键人物

贫道本是昆仑客 发表于 2021-04-05 08:45:49
当年上海微电老总去德国考察,就提到过德国用于光刻机的一块镜片打磨就是由一个家族专门负责,那个家族三代人就只干这件事,换了别人,马上精度差了几百倍。
说这种古董神话没有意义,去看蔡司发展历史就知道,蔡司因为坚持手工打磨镜头差点破产,手工打磨镜头最大问题是什么一致差质量不稳定,在2000年左右蔡司处于破产边缘领导层终于转变观点用机器打磨镜头了。但当时蔡司缺钱买高精度磨床,是ASML支缓了蔡司渡过了难关。
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CDer:000435261
发表于 2021-04-05 10:26 超大游击队员 | 显示全部楼层

Re.EUV光刻系统中的德国部分的几个关键人物

贫道本是昆仑客 发表于 2021-04-05 09:31:58
人家也是用设备打磨的,再先进的设备还是离不开人来操作。
没进工厂做过数控机床吧,数控机床最大特点是什么,就是对人的要求远运低手工机床,所有加工零件都是程序设定好的,精度和刀具精度和加工方法有关,所谓加工方法就是工艺需要工厂自己摸索。但和个人关系不大因为工艺一旦定型,就编辑在加工程序中工人是改不了。所以你说的神话我是不信的。
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CDer:000153177
发表于 2021-04-05 10:33 | 显示全部楼层

RE: EUV光刻系统中的德国部分的几个关键人物

zttzyy 发表于 2021-04-04 23:48
若干年前到德国,受当地一家企业的管理人员邀请到家里做客,他家的地下室里,居然有机床和各种机械,这是他 ...

我也想买 无耐家里没地方
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CDer:000055438
发表于 2021-04-05 10:36 超大游击队员 | 显示全部楼层

Re.EUV光刻系统中的德国部分的几个关键人物

火鸡的祝福 发表于 2021-04-05 09:16:51
这种模式难以为继,后代不愿意干了怎么办?而且靠手工来维持先进工艺靠不住,人家发明了更先进的设备来打磨岂不是降维打击
天文望远镜最后一道工序是人手打磨
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发表于 2021-04-05 11:39 | 显示全部楼层

RE: EUV光刻系统中的德国部分的几个关键人物

贫道本是昆仑客 发表于 2021-04-05 08:45
当年上海微电老总去德国考察,就提到过德国用于光刻机的一块镜片打磨就是由一个家族专门负责,那个家族三代 ...

中国的光学镜头质量不差,毛时期中国就大量出口照相机镜头,照相机镜头生产有种方式,一种是机械打磨,效率高,但质量不如手工打磨,另外一种是纯手工打磨,质量好,但效率低,毛时期上海海鸥照相机厂搞了一个技术革新,就是照相机镜头普通工序用机器打磨,关键工序用手工打磨,生产的照相机镜头质量介乎于手工打磨和机械打磨之间
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发表于 2021-04-05 11:40 | 显示全部楼层

RE: EUV光刻系统中的德国部分的几个关键人物

yingzho2007 发表于 2021-04-05 10:26
没进工厂做过数控机床吧,数控机床最大特点是什么,就是对人的要求远运低手工机床,所有加工零件都是程序设 ...

可是产品组装还是靠人工,比如发动机组装
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发表于 2021-04-05 11:41 | 显示全部楼层

RE: EUV光刻系统中的德国部分的几个关键人物

yingzho2007 发表于 2021-04-05 10:10
说这种古董神话没有意义,去看蔡司发展历史就知道,蔡司因为坚持手工打磨镜头差点破产,手工打磨镜头最大问 ...

是的,手工打磨光学镜头中国也有,而且质量不差,毛时期中国就大量出口照相机镜头,照相机镜头生产有种方式,一种是机械打磨,效率高,但质量不如纯手工打磨,另外一种是纯手工打磨,质量好,但效率低,毛时期上海海鸥照相机厂搞了一个技术革新,就是照相机镜头普通工序用机器打磨,关键工序用手工打磨,生产的照相机镜头质量介乎于手工打磨和机械打磨之间
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发表于 2021-04-05 11:48 | 显示全部楼层

RE: EUV光刻系统中的德国部分的几个关键人物

yingzho2007 发表于 2021-04-05 10:26
没进工厂做过数控机床吧,数控机床最大特点是什么,就是对人的要求远运低手工机床,所有加工零件都是程序设 ...

产品不完全靠零件精度,70年代初,天津手表厂请了一个瑞士人来传经送宝,他家是几代组装手表,以前我们一直认为国产手表不如瑞士手表是生产的手表零件精度不行,他看了我们生产的手表零件总说不错,天津手表厂陪同人员问他,为啥我们生产的手表不如瑞士手表,他没有直接回答,而是从生产的手表零件中挑选了2套手表零件,让天津的手表厂技师选一套,他们同时组装手表,结果组装出的手表准确度比天津手表厂的技师高,最后走的那一天,把这两块手表同事从2层楼扔下来,结果是我们组装的手表停了,瑞士组装的手表还继续运行,这实际上是组装工艺问题。有的技术是说不出了,瑞士从小孩十几岁就和父母一起组装手表,很多经验是几代人总结的。
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CDer:000128047
发表于 2021-04-05 12:01 | 显示全部楼层

RE: EUV光刻系统中的德国部分的几个关键人物

zxd1981 发表于 2021-04-05 09:24
小型3轴4轴数控床很多的,没几个钱,关键是要有放床子材料工具的地,国内车库太小,除非专门用来当仓库, ...

国内车库连放个轮胎都只能贴墙靠着,而国外尤其是美国,车库自带工具间和修车坡道,可以完成自家车的保养和大部分维修。
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CDer:000435261
发表于 2021-04-05 13:16 超大游击队员 | 显示全部楼层

Re.EUV光刻系统中的德国部分的几个关键人物

近战武器 发表于 2021-04-05 11:48:55
产品不完全靠零件精度,70年代初,天津手表厂请了一个瑞士人来传经送宝,他家是几代组装手表,以前我们一直认为国产手表不如瑞士手表是生产的手表零件精度不行,他看了我们生产的手表零件总说不错,天津手表厂陪同人员问他,为啥我们生产的手表不如瑞士手表,他没有直接回答,而是从生产的手表零件中挑选了2套手表零件,...
古董级传说无意义,现在化生产要保证镜头质量一致性和精度,只能机器打磨,手工最大问题是难以保证一致性,除非做单品样品。
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CDer:000010726
发表于 2021-04-05 13:21 超大游击队员 | 显示全部楼层
所谓人工估计是东西太少,如果多肯定机器更好,但太少(机器研制费用太高)
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CDer:000435261
发表于 2021-04-05 13:33 超大游击队员 | 显示全部楼层

Re.EUV光刻系统中的德国部分的几个关键人物

qazqaz 发表于 2021-04-05 13:21:58
所谓人工估计是东西太少,如果多肯定机器更好,但太少(机器研制费用太高)
人家是吹捧人工打磨所谓精度,在某些特殊部位,机器不好加工,才要人工做,所谓手工精度比机器高在大部分领域不存在的。他们所举例子无非是几个古老的传说,也不去看看当代蔡司是不是还在坚持手工打磨?
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CDer:000001437
发表于 2021-04-05 16:11 超大游击队员 | 显示全部楼层
yingzho2007 发表于 2021-04-05 13:33
人家是吹捧人工打磨所谓精度,在某些特殊部位,机器不好加工,才要人工做,所谓手工精度比机器高在大部分领 ...

光刻机一年只有几十上百台,不用手工用机器?这成本会上天的
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CDer:000555270
发表于 2021-04-06 14:26 超大游击队员 | 显示全部楼层
自由灯塔真理报 发表于 2021-04-05 08:54
家里有机床。这已经不是财务自由那么简单了。

看油管,老外很喜欢自己做,修东西。也可能和高人工有关。
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CDer:000285742
发表于 2021-04-07 08:08 | 显示全部楼层

RE: EUV光刻系统中的德国部分的几个关键人物

syskey1 发表于 2021-04-05 12:01
国内车库连放个轮胎都只能贴墙靠着,而国外尤其是美国,车库自带工具间和修车坡道,可以完成自家车的保养 ...

你说的这个,夸张了。我见过的美国的车库,没有那么大,也就是能停两辆车。当然,爱好鼓捣的另说。
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CDer:000334765
发表于 2021-04-07 13:53 超大游击队员 | 显示全部楼层
贫道本是昆仑客 发表于 2021-04-05 08:45
当年上海微电老总去德国考察,就提到过德国用于光刻机的一块镜片打磨就是由一个家族专门负责,那个家族三代 ...

我们所老总当初在另一个总体所干的时候去德国考察,一家十几人的小企业二层小楼做某种航天测试设备,到我们所干的时候,那这个当业绩突破口,于是我们就成了,某某设备实现国产化的新闻就有了。有的时候不是不做,是需要做的事太多,没精力。这个突破之前二十个人项目组解决后,后续升级就二个人负责。
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