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CDer:001220742 楼主: ENDURA
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EUV光源消息

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CDer:000413886
发表于 2021-03-31 18:07 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

生者为过客 发表于 2021-03-31 15:02
中午午休的时候看了些资料,早期高Q值高重频大功率气体激光器很多都是出于军用目的的,美国在这方面投入 ...

这个我们军队也有
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CDer:000279531
发表于 2021-03-31 18:11 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

havok 发表于 2021-03-31 18:06
说成功还早,现在EUV光源有5个以上单位在联合研发,涉及的技术难点也很多,多数任务的完成时间节点都在2- ...

这里面的单个泵源模块输出功率大于480W是不是意味着EUV光源的输出功率大于480W呢
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CDer:001220742
 楼主| 发表于 2021-03-31 18:23 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

EKW 发表于 2021-03-31 18:11
这里面的单个泵源模块输出功率大于480W是不是意味着EUV光源的输出功率大于480W呢

这是用于进行老化测试和零件筛选的模拟泵源,并不是真正的激光器泵浦源
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CDer:000413886
发表于 2021-03-31 18:27 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

EKW 发表于 2021-03-31 18:11
这里面的单个泵源模块输出功率大于480W是不是意味着EUV光源的输出功率大于480W呢

不是    EUV光源的输出功率是指主激光击中羽化的金属靶滴后辐射出极紫外光,然后通过收集镜收集这些极紫外光后得到的功率
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CDer:001220742
 楼主| 发表于 2021-03-31 18:27 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

havok 发表于 2021-03-31 18:06
说成功还早,现在EUV光源有5个以上单位在联合研发,涉及的技术难点也很多,多数任务的完成时间节点都在2- ...

请问这个“LPP-EUV光刻光源关键技术研究项目”的验收标准大概相当于阿斯麦的什么阶段?
要是仅仅相当于NXE3100,那么要做到可用至少要到2033年以后了。
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CDer:001220742
 楼主| 发表于 2021-03-31 18:34 | 显示全部楼层
通快公司的超高功率二氧化碳脉冲激光器

“通快研制的 CO2 脉冲式激光系统(通快激光放大器)提供用于等离子体辐射的激光脉冲。这款高功率激光系统基于 CO2 连续波激光器的技术,功率范围超过 10 千瓦。在五个放大级别中,它可将平均功率为数瓦的 CO2 激光脉冲放大 10,000 多倍,输出超过数十千瓦的平均脉冲功率。其中脉冲峰值功率达到数百万瓦。”
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CDer:000114850
发表于 2021-03-31 19:35 超大游击队员 | 显示全部楼层
恶魔在人间 发表于 2021-03-31 15:33
目前光纤无法承载这么大的功率,难道你不会把功率调小一点吗?功率是可大可小的吗?

LPP技术路线驱动光源连续功率实用门槛值15kw,脉冲峰值MW级,功率调小了越不过门槛
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CDer:000114850
发表于 2021-03-31 19:42 超大游击队员 | 显示全部楼层
ENDURA 发表于 2021-03-31 18:34
通快公司的超高功率二氧化碳脉冲激光器

“通快研制的 CO2 脉冲式激光系统(通快激光放大器)提供用于等 ...

10kw功率的脉冲CO2激光器用在MOPA段做预放大器用,而且不止接一台,主放大器功率更大,另外前端种子光还需要另一种小功率激光器
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CDer:000114850
发表于 2021-03-31 19:46 超大游击队员 | 显示全部楼层
havok 发表于 2021-03-31 18:06
说成功还早,现在EUV光源有5个以上单位在联合研发,涉及的技术难点也很多,多数任务的完成时间节点都在2- ...

时间节点2024年前吗,真要按时完成真是喜出望外
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CDer:000114850
发表于 2021-03-31 19:49 超大游击队员 | 显示全部楼层
本帖最后由 zxd1981 于 2021-03-31 19:58 编辑
恶魔在人间 发表于 2021-03-31 15:42
哈尔滨工业大学的140瓦的duv光源不能用吗?虽然功率是低了点,但是到底能不能用呢?有的说140瓦也算够用了 ...


哈工大那个不是EUV功率,而是激光源输出功率,功率低到弱爆。EUV功率实用值115w,转换效率个位数,这个115w也就够实验室验证用,目前真正商用的EUV至少250w,对应激光驱动功率27kw,最新的350w,激光驱动功率超过40kw。咱们真要是十年内能做出350w EUV我觉得那是大喜事才对。
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CDer:001164008
发表于 2021-03-31 20:23 超大游击队员 | 显示全部楼层
恶魔在人间 发表于 2021-03-31 00:41
那你觉得今年上海微电子那个DUV有没有希望。因为目前7纳米工艺能够满足绝大部分的民用需求,包括手机。虽然 ...

现在都是希望28nm能通过,7nm华为还不笑疯了,
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CDer:001200918
发表于 2021-04-01 09:05 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

ENDURA 发表于 2021-03-30 21:45
相关的论文,注意东方晶源的研究人员也是联合作者之一。
https://kns.cnki.net/kcms/detail/detail.aspx ...

论文是2020年的,论文写成审核发表倒推的话,这个论文应该是2019年已经写好,2019年以前相关的实验成果都已经有了,
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CDer:000413886
发表于 2021-04-01 12:29 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

本帖最后由 havok 于 2021-04-01 12:49 编辑
zxd1981 发表于 2021-03-31 19:46
时间节点2024年前吗,真要按时完成真是喜出望外


               
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CDer:000279531
发表于 2021-04-01 12:41 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

本帖最后由 EKW 于 2021-04-01 12:42 编辑
havok 发表于 2021-04-01 12:29
虽然原理大体相同,但我们的EUV光源工程实现上会和ASML的有些不太一样,有很多创新技术,在提升光源功率 ...


那我们的EUV光源功率能否超过ASML现在的350W的水平呢
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CDer:001128160
发表于 2021-04-01 14:27 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息


编辑掉了,太可惜了
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CDer:001196239
发表于 2021-04-01 16:41 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

生者为过客 发表于 2021-04-01 14:27
编辑掉了,太可惜了

havok发的什么啊
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CDer:000290626
发表于 2021-04-01 16:43 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息


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CDer:001093855
发表于 2021-04-01 18:24 超大游击队员 | 显示全部楼层
kukiyi 发表于 2021-04-01 16:43

你的图不全,为啥编辑掉?
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CDer:000613267
发表于 2021-04-01 22:11 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

日月轮光斩 发表于 2021-04-01 18:24
你的图不全,为啥编辑掉?

EUV相关技术进展在目前的大环境下属于机密,这涉及到参与研制国之重器的相关技术人员的安全
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CDer:001129102
发表于 2021-04-01 22:44 超大游击队员 | 显示全部楼层
账号已被盗 发表于 2021-04-01 22:11
EUV相关技术进展在目前的大环境下属于机密,这涉及到参与研制国之重器的相关技术人员的安全

人身安全?不会吧,太夸张了
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CDer:001129102
发表于 2021-04-01 22:44 超大游击队员 | 显示全部楼层
这个光源是长机所还是上机
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CDer:001092336
发表于 2021-04-01 22:49 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

diyid888 发表于 2021-04-01 22:44
人身安全?不会吧,太夸张了

伊朗人和核技术沾边的大学教授都被杀,对西方不能太放心。
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CDer:001196239
发表于 2021-04-01 22:52 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

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CDer:001129102
发表于 2021-04-01 22:59 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

ENDURA 发表于 2021-03-31 18:34
通快公司的超高功率二氧化碳脉冲激光器

“通快研制的 CO2 脉冲式激光系统(通快激光放大器)提供用于等 ...

这德国佬做的机器真漂亮
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CDer:000140985
发表于 2021-04-01 23:11 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

生者为过客 发表于 2021-03-30 22:48
FEL 装置可提供峰值功率超过1 GW、平均功率大于1 kW 的高亮度激光,最高重复频率可达1 MHz。但是离子导 ...

之前和你讨论过的,中科院成都投资42亿那个不就是FEL方案么?该项目计划是2026年完成10nm的验证
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CDer:000812901
发表于 2021-04-01 23:29 超大游击队员 | 显示全部楼层
firmsoul 发表于 2021-04-01 23:11
之前和你讨论过的,中科院成都投资42亿那个不就是FEL方案么?该项目计划是2026年完成10nm的验证

不是中科院是中物院,也就是九院,神光4的建设研制单位。
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CDer:001128160
发表于 2021-04-02 00:57 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

firmsoul 发表于 2021-04-01 23:11
之前和你讨论过的,中科院成都投资42亿那个不就是FEL方案么?该项目计划是2026年完成10nm的验证

黄花菜都凉了
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CDer:001196239
发表于 2021-04-04 20:29 | 显示全部楼层
上海光机所搞的极紫外光源用两台6千瓦光纤激光器驱动,做到50Khz重复频率与15纳秒的脉宽
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CDer:001128160
发表于 2021-04-04 21:14 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

本帖最后由 生者为过客 于 2021-04-04 21:16 编辑
lemon16 发表于 2021-04-04 20:29
上海光机所搞的极紫外光源用两台6千瓦光纤激光器驱动,做到50Khz重复频率与15纳秒的脉宽


有长光所光源的消息吗?
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CDer:000114850
发表于 2021-04-04 22:23 超大游击队员 | 显示全部楼层
lemon16 发表于 2021-04-04 20:29
上海光机所搞的极紫外光源用两台6千瓦光纤激光器驱动,做到50Khz重复频率与15纳秒的脉宽

这种参数的激光器两级放大构成MOPA,大概相当于脚盆2008年之前实验室水准,可能还要差一点
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CDer:001198559
发表于 2021-04-04 23:26 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

zxd1981 发表于 2021-04-04 22:23
这种参数的激光器两级放大构成MOPA,大概相当于脚盆2008年之前实验室水准,可能还要差一点

一个走光纤激光器 一个走CO2激光器 怎么比较啊
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CDer:001196239
发表于 2021-04-05 05:55 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

zxd1981 发表于 2021-04-04 22:23
这种参数的激光器两级放大构成MOPA,大概相当于脚盆2008年之前实验室水准,可能还要差一点

差不多就是这种状态,看后面几年能做到啥样吧
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CDer:001196239
发表于 2021-04-05 05:56 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息


没有,楼下那个说的八九不离十,差不多就是日本和ASML08年的状态
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CDer:000114850
发表于 2021-04-05 06:49 超大游击队员 | 显示全部楼层
本帖最后由 zxd1981 于 2021-04-05 09:01 编辑
A-SET三号机 发表于 2021-04-04 23:26
一个走光纤激光器 一个走CO2激光器 怎么比较啊


按参数比,无论什么路线最后输出功率是必然要达到额定参数才能实用,而且光纤激光器也能做MOPA,只不过上光所是泵浦
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CDer:001196239
发表于 2021-04-05 06:53 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

zxd1981 发表于 2021-04-05 06:49
按参数比,无论什么路线最后输出功率是必然要达到额定参数才能实用

上光所这进度几年能去验证啊
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CDer:001129102
发表于 2021-04-05 07:19 | 显示全部楼层
光源是最难的,所有半导体设备难度之最啊
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CDer:000114850
发表于 2021-04-05 07:30 超大游击队员 | 显示全部楼层
本帖最后由 zxd1981 于 2021-04-05 07:34 编辑
lemon16 发表于 2021-04-05 06:53
上光所这进度几年能去验证啊


没法比较,遇到的技术门槛和CO2的完全不同,上光所多路光纤激光器绕过尾纤容量不足输出非线性的方案是上同步器,单台光纤激光器提升功率是难点一,难点二是多路输出时空同步,我觉得后者是制约光纤激光器实用最大的问题,这个技术搞定了那是妥妥的神器,以后随便什么激光器用这个技术都能水管变巨炮,星球大战都不是梦。另外,按2020年4月上光所磁镜专利,就是光纤激光器泵浦架构做LPP验证后端磁镜收集器
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CDer:000360888
发表于 2021-04-05 07:42 | 显示全部楼层
上面不知道爆了啥猛料,居然被删除了
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CDer:001196239
发表于 2021-04-05 07:55 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

zxd1981 发表于 2021-04-05 07:30
没法比较,遇到的技术门槛和CO2的完全不同,上光所多路光纤激光器绕过尾纤容量不足输出非线性的方案是 ...

可能就是走这个了吧,我记得哈工大对这方面也有研究
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CDer:000413886
发表于 2021-04-05 12:04 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

本帖最后由 havok 于 2021-04-05 16:37 编辑
zxd1981 发表于 2021-03-30 23:18
CO2激光器也不是单个实现LPP方案的,需要小功率CO2激光器当种子光,级联预放大激光器和主放大激光器, ...


长春光机所也有这种5级级联放大的应用于EUV光刻的高功率高重频窄脉宽MOPA CO2激光器,转民用方面和通快还有不小差距
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