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EUV光源消息

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CDer:001220742
发表于 2021-03-30 14:37 | 显示全部楼层 |阅读模式

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中国科学院上海光学精密机械研究所单一来源采购泵源及其驱动控制系统征求意见公示
来源: 发布时间:2020-11-26【字体:大 中 小】
  采购人:中国科学院上海光学精密机械研究所

  住所:上海市嘉定区清河路390号

  一、采购项目名称:泵源及其驱动控制系统

  二、资金来源及采购预算:财政性资金,已落实。

  三、拟采购的货物项目背景

  拟采购项目为我所承担的LPP-EUV光刻光源关键技术研究项目的泵源及其驱动控制系统,主要用于光纤材料、高功率元器件的考核筛选及方案验证。为了模拟项目设计方案初样泵浦状态,更真实的对项目初、正样使用的光纤材料、高功率无源器件和光学部组件进行考核筛选和老化测评,需定制与项目方案设计亮度匹配的泵源,并配备控制功能更加灵活多样的驱动电源,以满足不同测评应用需求。

  四、采用单一来源采购方式的原因及相关说明

  采购项目包含2套6kW泵源及其驱动控制机柜、2台480W泵源及其驱动控制单元和2套900W×6机柜型驱动控制系统。泵浦模块采用3×1泵浦合束方案,最终实现单个泵源模块输出功率大于480W。由于项目研制进度迫切,需要在1个月内完成采购产品的交付。

  上海飞博激光科技有限公司(以下简称飞博公司)是高功率光纤激光器产品的专业生产厂家,在高功率光纤激光器的设计研制方面具有丰富的工程经验。飞博公司前期在类似项目上部分参与了部组件方案设计论证,并承担了相应外协研制,因此对于此类高功率产品的指标需求、功能需求认识比较清晰,能够按时提供满足技术要求的产品,并且售后维护及时。由于采购周期短、指标要求严格、控制功能繁多,为保证科研工作快速、可靠的开展,确保项目的顺利进行,拟申请本次采购任务由上海飞博激光科技有限公司承担,采购方式确定为单一来源。

http://www.siom.cas.cn/xwzx/tzgg/202011/t20201126_5785335.html
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CDer:000979950
发表于 2021-03-30 16:31 | 显示全部楼层
去年的应该已经采购完成了吧,也不知道是哪个公司中标了
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CDer:000472510
发表于 2021-03-30 16:50 | 显示全部楼层
@havok 这个说明国产EUV光刻机的LPP-EUV光源已经差不多成了,对吧?
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CDer:001220742
 楼主| 发表于 2021-03-30 16:55 | 显示全部楼层
CN112540513A_一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置  申请(专利权)人         中国科学院上海光学精密机械研究所 山东爱特机电技术有限责任公司  摘要                 本发明提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置,其中所述的本体外壁设导热油输入口及导热油输出口;加热腔内填充导热油,电加热棒延伸至导热油内;内腔内安装内腔体,顶盖内腔体顶部连接,固定帽安装在内腔体内,固定帽底部固定压紧弹簧,压紧弹簧底部为过滤帽,过滤帽底部连通输出通道,输出通道与高速喷头连接,高速喷头与压紧螺母连接,压紧螺母固定在本体底部;优点为:本发明过滤帽用于去除金属杂质;密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用,内腔体实现金属的加热、熔融及传输;加热腔用于传输导热介质;电加热棒维持熔融装置整体的实验温度环境;高速喷头按要求喷射出实验用金属液滴。   
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CDer:001178084
发表于 2021-03-30 17:04 | 显示全部楼层
最终实现单个泵源模块输出功率大于480W?美国的那个光源300W吧?这么说我们成了
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CDer:001220742
 楼主| 发表于 2021-03-30 17:23 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

ENDURA 发表于 2021-03-30 16:55
CN112540513A_一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置  申请(专利权)人         中国科学院上海光学精密机械研究所  ...

CN112394615A_极紫外光刻光源掩模优化方法
申请(专利权)人       
中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要       
一种极紫外光刻光源掩模优化方法,采用像素表征光源和掩模图形,通过点脉冲修正的厚掩模成像模型计算光刻胶像,以光刻胶图形和目标图形之间的图形误差作为评价函数,采用基于社会学习机制的粒子群算法(SLPSO)优化光源分布和掩模图形。本发明利用极紫外光刻厚掩模成像模型建立评价函数,提高了优化过程中成像计算的精度。另外,利用SLPSO算法有效提高了优化效率和寻优能力,提高了成像质量。  
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CDer:001198559
发表于 2021-03-30 17:37 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

长和 发表于 2021-03-30 17:04
最终实现单个泵源模块输出功率大于480W?美国的那个光源300W吧?这么说我们成了

泵源输出不等于极紫外光输出
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CDer:001129102
发表于 2021-03-30 17:38 超大游击队员 | 显示全部楼层
长和 发表于 2021-03-30 17:04
最终实现单个泵源模块输出功率大于480W?美国的那个光源300W吧?这么说我们成了

别急着下结论,这玩意要听业内人士数,失之毫厘谬之千里
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CDer:001178084
发表于 2021-03-30 18:07 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

diyid888 发表于 2021-03-30 17:38
别急着下结论,这玩意要听业内人士数,失之毫厘谬之千里

确实是,这玩意太专业了,希望有懂的解释一下
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CDer:001129102
发表于 2021-03-30 19:48 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

长和 发表于 2021-03-30 18:07
确实是,这玩意太专业了,希望有懂的解释一下

17年?深表怀疑
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CDer:001211092
发表于 2021-03-30 20:57 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

“拟采购项目为我所承担的LPP-EUV光刻光源关键技术研究项目”,项目还处于关键技术研究阶段,攻克之后才进入验证机阶段,验证机之后量产
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CDer:000114850
发表于 2021-03-30 20:59 超大游击队员 | 显示全部楼层
上海光机所打算走光纤激光器多路合成方案?这个挑战可够大,通快和三菱电气都选了气体激光器主振放大路线
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CDer:000114850
发表于 2021-03-30 21:38 超大游击队员 | 显示全部楼层
本帖最后由 zxd1981 于 2021-03-30 21:43 编辑

这个用于EUV驱动光源的光纤激光器采购很值得琢磨,按今年一月份上光所在高功率光纤方面的技术突破,光纤激光器路线距离实用差距太大,20kw以上的连续功率靠激光器泵浦合束能实现,单脉冲功率要达到MW级,这个怎么解决,目前的光纤无法承载这么大功率吧
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CDer:001128160
发表于 2021-03-30 21:44 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

本帖最后由 生者为过客 于 2021-03-30 21:59 编辑
zxd1981 发表于 2021-03-30 21:38
这个用于EUV驱动光源的光纤激光器采购很值得琢磨


难道是因为单组CO2激光器功率难以满足要求,想走多路组束光纤激光器的模式?那激光调频是不是难度很大?
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CDer:001220742
 楼主| 发表于 2021-03-30 21:45 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

ENDURA 发表于 2021-03-30 17:23
CN112394615A_极紫外光刻光源掩模优化方法
申请(专利权)人       
中国科学院上海光学精密机械研究所

相关的论文,注意东方晶源的研究人员也是联合作者之一。
https://kns.cnki.net/kcms/detail/detail.aspx?dbcode=CJFD&dbname=CJFDLAST2021&filename=GXXB202021015&v=I8%25mmd2FvK3TMIkymxIGC3b0B9XTa%25mmd2FO4RmFDe91Nvf6ADZFraTfJdmmKwL7RAQ04S6r4M
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CDer:000114850
发表于 2021-03-30 22:03 超大游击队员 | 显示全部楼层
生者为过客 发表于 2021-03-30 21:44
难道是因为单组CO2激光器功率难以满足要求,想走多路组束光纤激光器的模式?那激光调频是不是难度很大 ...

谁知道呢,要是真上光纤激光器方案,那可能是兔子在这方面有超越通快和SELET联盟的技术进展了。也有可能只是验证一下这个路线能否走通,或者在CO2驱动光源搞定之前先用光纤激光器搭建一个实验环境
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CDer:000279531
发表于 2021-03-30 22:06 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

zxd1981 发表于 2021-03-30 22:03
谁知道呢,要是真上光纤激光器方案,那可能是兔子在这方面有超越通快和SELET联盟的技术进展了。也有可能 ...

看看上光所这个专利
[url]http://www.soopat.com/Patent/CN104638503A[/url]
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CDer:000940687
发表于 2021-03-30 22:08 | 显示全部楼层
3纳米需要什么样的光刻机?
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CDer:001220742
 楼主| 发表于 2021-03-30 22:10 | 显示全部楼层
另一篇有趣的论文,NA=0.6的物镜系统设计,拿的是02专项经费,可能是为下一代光刻机进行的预研工作。 https://kns.cnki.net/KCMS/detail/detail.aspx?dbcode=CJFD&filename=GXXB202005019  “目前有关NA为0.6的极紫外组合倍率光刻物镜系统设计的研究鲜有报道。本文所设计的含膜物镜与蔡司公司设计的NA为0.55的组合倍率物镜系统相比,前者系统平均反射率为68%,低于后者的反射率(74%),但前者的系统数值孔径较大,分辨率更高[15],且镜面的入射角均在40°以下,便于实际工程应用。”
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CDer:000114850
发表于 2021-03-30 22:13 超大游击队员 | 显示全部楼层
EKW 发表于 2021-03-30 22:06
看看上光所这个专利
http://www.soopat.com/Patent/CN104638503A[/url]

这个帖子我之前回复了,不知哪里出了问题,被审核了。上光这个专利的方案以前SELET联盟验证过类似的,最后没选,还是走气体激光器调Q加MOPA方案,原因那个帖子里列了,这里不重复了
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CDer:001220742
 楼主| 发表于 2021-03-30 22:13 | 显示全部楼层
请注意这句话:“主要用于光纤材料、高功率元器件的考核筛选及方案验证”。
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CDer:001128160
发表于 2021-03-30 22:21 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

zxd1981 发表于 2021-03-30 22:03
谁知道呢,要是真上光纤激光器方案,那可能是兔子在这方面有超越通快和SELET联盟的技术进展了。也有可能 ...

在高能激光领域,上光所是国内领先单位吗?
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CDer:000114850
发表于 2021-03-30 22:24 超大游击队员 | 显示全部楼层
生者为过客 发表于 2021-03-30 22:21
在高能激光领域,上光所是国内领先单位吗?

是的。而且在特种光纤,尤其是高功率光纤方面领先
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CDer:001128160
发表于 2021-03-30 22:29 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

zxd1981 发表于 2021-03-30 22:24
是的。而且在特种光纤,尤其是高功率光纤方面领先

气体激光方面呢?也是上光所领先吗?九院 长光所 西光所 北京11所 兵器209所 北京光电研究院
哈工大  华中科技大学都没有上光强吗?
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CDer:000406621
发表于 2021-03-30 22:30 超大游击队员 | 显示全部楼层
zxd1981 发表于 2021-03-30 22:03
谁知道呢,要是真上光纤激光器方案,那可能是兔子在这方面有超越通快和SELET联盟的技术进展了。也有可能 ...

没把握的话,我感觉现在这个形势不应该在这个别人验证有困难的方向上尝试努力。
不了解这个,但是要是像电力领域大牛马伟明一样,美帝搞不定中压直流他搞定了就牛逼了。
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CDer:000114850
发表于 2021-03-30 22:35 超大游击队员 | 显示全部楼层
生者为过客 发表于 2021-03-30 22:29
气体激光方面呢?也是上光所领先吗?九院 长光所 西光所 北京11所 兵器209所 北京光电研究院
哈工大  华 ...

那就不知道了,气体激光器和碟形激光器方面看到的国内消息很少,这几年光纤激光器国内技术发展很快,工业应用上已经进入3万W高端领域,固态激光器也有一定发展。havok网友说CO2激光器方案国内能提供10KW50Khz15-30ns的驱动光源,如果属实,个人觉得比光纤激光器路线更稳妥
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CDer:001128160
发表于 2021-03-30 22:38 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

zxd1981 发表于 2021-03-30 22:35
那就不知道了,气体激光器和碟形激光器方面看到的国内消息很少,这几年光纤激光器国内技术发展很快,工业 ...

如果固态激光器能做到大功率 高复频就好了。
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CDer:000114850
发表于 2021-03-30 22:43 超大游击队员 | 显示全部楼层
生者为过客 发表于 2021-03-30 22:38
如果固态激光器能做到大功率 高复频就好了。

按老美试验报告,激光晶体高功率下会产生热透镜效应,而且光束进出晶体的折射效应会让光质量变差,先天不适合
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CDer:001128160
发表于 2021-03-30 22:48 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

本帖最后由 生者为过客 于 2021-03-30 22:50 编辑
zxd1981 发表于 2021-03-30 22:43
按老美试验报告,激光晶体高功率下会产生热透镜效应,而且光束进出晶体的折射效应会让光质量变差,先天不 ...


FEL 装置可提供峰值功率超过1 GW、平均功率大于1 kW 的高亮度激光,最高重复频率可达1 MHz。但是离子导入非常麻烦。如果能找到FEL新方案,那就是革命性进步了。IBM INTEL等国际巨头都投了不少这方面初创公司。。ASML、日本EUV-FEL 光源产业化研究会、Global Foundries等企业积极关注EUV-FEL 光刻技术,认为将是光刻在3 nm 节点之后的重要技术路线。
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CDer:001198559
发表于 2021-03-30 22:53 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

zxd1981 发表于 2021-03-30 22:43
按老美试验报告,激光晶体高功率下会产生热透镜效应,而且光束进出晶体的折射效应会让光质量变差,先天不 ...

这个吗...其实国内在非线性光学晶体领域还真有点独特优势...
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CDer:000114850
发表于 2021-03-30 23:18 超大游击队员 | 显示全部楼层
本帖最后由 zxd1981 于 2021-03-30 23:19 编辑
生者为过客 发表于 2021-03-30 21:44
难道是因为单组CO2激光器功率难以满足要求,想走多路组束光纤激光器的模式?那激光调频是不是难度很大 ...


CO2激光器也不是单个实现LPP方案的,需要小功率CO2激光器当种子光,级联预放大激光器和主放大激光器,通快40kw驱动光源用了5级级联放大来实现,这玩意耗能超高,中间级联的大功率激光器连续功率加起来估计得上千KW以上
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发表于 2021-03-31 00:03 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

本帖最后由 生者为过客 于 2021-03-31 00:24 编辑
zxd1981 发表于 2021-03-30 23:18
CO2激光器也不是单个实现LPP方案的,需要小功率CO2激光器当种子光,级联预放大激光器和主放大激光器, ...


通快的大功率高复频激光器不能对华出口吧?
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发表于 2021-03-31 00:41 超大游击队员 | 显示全部楼层

Re.EUV光源消息

wjy_2000 发表于 2021-03-30 20:57:52
“拟采购项目为我所承担的LPP-EUV光刻光源关键技术研究项目”,项目还处于关键技术研究阶段,攻克之后才进入验证机阶段,验证机之后量产
那你觉得今年上海微电子那个DUV有没有希望。因为目前7纳米工艺能够满足绝大部分的民用需求,包括手机。虽然性能可能差了点。但是。总比没有强。
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发表于 2021-03-31 06:03 超大游击队员 | 显示全部楼层
生者为过客 发表于 2021-03-31 00:03
通快的大功率高复频激光器不能对华出口吧?

估计够呛,90nm的曝光系统都对咱们封锁,脚盆没实用的三菱电气CO2光源咱们也弄不到,通快实用的更没指望
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 楼主| 发表于 2021-03-31 10:54 | 显示全部楼层
采购项目是为了“对项目初、正样使用的光纤材料、高功率无源器件和光学部组件进行考核筛选和老化测评”。
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 楼主| 发表于 2021-03-31 14:53 | 显示全部楼层
@havok 这是否意味着上海光机所的EUV光源即将开始初样的研制?
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发表于 2021-03-31 15:02 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

zxd1981 发表于 2021-03-31 06:03
估计够呛,90nm的曝光系统都对咱们封锁,脚盆没实用的三菱电气CO2光源咱们也弄不到,通快实用的更没指望

中午午休的时候看了些资料,早期高Q值高重频大功率气体激光器很多都是出于军用目的的,美国在这方面投入很大,苏联投入也不小。感觉EUV光源用的激光器是典型的军转民案例。当年苏联在这方面的成果,俄国早就丢到姥姥家去了吧,很多已经跟不上世界主流水准了吧?

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发表于 2021-03-31 15:33 超大游击队员 | 显示全部楼层

Re.EUV光源消息

zxd1981 发表于 2021-03-30 21:38:08
本帖最后由zxd1981于2021-03-3021:43编辑这个用于EUV驱动光源的光纤激光器采购很值得琢磨,按今年一月份上光所在高功率光纤方面的技术突破,光纤激光器路线距离实用差距太大,20kw以上的连续功率靠激光器泵浦合束能实现,单脉冲功率要达到MW级,这个怎么解决,目前的光纤无法承载这么大功率...
目前光纤无法承载这么大的功率,难道你不会把功率调小一点吗?功率是可大可小的吗?
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发表于 2021-03-31 15:42 超大游击队员 | 显示全部楼层

Re.EUV光源消息

zxd1981 发表于 2021-03-30 21:38:08
本帖最后由zxd1981于2021-03-3021:43编辑这个用于EUV驱动光源的光纤激光器采购很值得琢磨,按今年一月份上光所在高功率光纤方面的技术突破,光纤激光器路线距离实用差距太大,20kw以上的连续功率靠激光器泵浦合束能实现,单脉冲功率要达到MW级,这个怎么解决,目前的光纤无法承载这么大功率...
哈尔滨工业大学的140瓦的duv光源不能用吗?虽然功率是低了点,但是到底能不能用呢?有的说140瓦也算够用了,就是效率低了点。这个有的说要250万才能够达到应用的阶段。这个我就搞不懂了,如果在保证光刻精度的前提下,效率慢点就慢点呗。现在就还有两个问题一是据说那个反射透镜精度还达不到要求。二是那个是工作台的精度,恐怕也不足,5纳米的加工

总的来说,如果10年后才能够完成EUV光刻机的话。那我国的高端民用芯片,特别是移动设备上用的民用芯片。那就悲哀啦,因为人家不会原地踏步的,等你10年。等你搞定。5纳米工艺说不定人家都考虑零点几纳米的事情了,或者采用新的晶体管技术或者新的工艺。
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CDer:000413886
发表于 2021-03-31 18:06 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

海之深蓝 发表于 2021-03-30 16:50
@havok 这个说明国产EUV光刻机的LPP-EUV光源已经差不多成了,对吧?

说成功还早,现在EUV光源有5个以上单位在联合研发,涉及的技术难点也很多,多数任务的完成时间节点都在2-3年后。
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