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CDer:000413886 楼主: havok
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东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

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CDer:000159547
发表于 2021-04-30 15:47 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

lijiasheng1984 发表于 2021-04-30 14:09
哈哈,秒懂,20nm、28nm以上可以实践国产规模商用了,包括光刻机

没有这么乐观吧,他说是除开浸没式光刻机以外,也就是说上微那台28NM的机器还没搞好。
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CDer:000406621
发表于 2021-04-30 16:02 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

fireeyes 发表于 2021-04-30 15:47
没有这么乐观吧,他说是除开浸没式光刻机以外,也就是说上微那台28NM的机器还没搞好。

28nm光刻机年底出货,明年底产线才开始量产。
除光刻机外其他设备走的更早一些。
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CDer:001166596
发表于 2021-04-30 16:17 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-04-30 11:54
上微新干式双工件台光刻机在ICRD验证。国产大硅片、光刻胶等也一起在那里配合光刻机验证。ICRD已经把16nm ...

浸没式光刻机去年不是已经在验证了吗?现在还不能进中试线吗?
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CDer:000290626
发表于 2021-04-30 16:36 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-04-30 11:54
上微新干式双工件台光刻机在ICRD验证。国产大硅片、光刻胶等也一起在那里配合光刻机验证。ICRD已经把16nm及以下工艺验证线上除浸没光刻机外的其他一些进口设备全换成了国产设备,这条线产能约5000片/年,目前正在调试。


上微干式是什么制程的啊?

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CDer:001166596
发表于 2021-04-30 16:39 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

kukiyi 发表于 2021-04-30 16:36
上微干式是什么制程的啊?

之前说是65nm的。
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CDer:001169128
发表于 2021-04-30 23:52 超大游击队员 | 显示全部楼层
huangminsen1997 发表于 2021-04-30 16:17
浸没式光刻机去年不是已经在验证了吗?现在还不能进中试线吗?

那是样机,哪有样机出来就能完美上生产线的,不得调适一下才能用吗
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CDer:000159547
发表于 2021-05-01 12:40 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

ztzhaha 发表于 2021-04-30 23:52
那是样机,哪有样机出来就能完美上生产线的,不得调适一下才能用吗

如果样机2021年底以前能够上验证线,验证、调试、消除BUG,一切顺利最快也要1年的时间,然后再把商业版的型号安装到商业产线上最快也是一年,顺风顺水也要到2024年了,但一般不会顺风顺水,所以2025年能建立真正商用的全国产28NM生产线算是最乐观的预计了。
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CDer:001129102
发表于 2021-05-03 22:36 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-04-30 13:47
5000片/年关键是用全国产设备生产的。目前上海打造中国集成电路全产业链国产化体系建设正在加快推进中,I ...

只要自主可控就不要在乎 用没用美国技术
美国制裁了 也没用
等国内相关设备稳定了,就可以替换美国设备,可以争取时间,华为们快等不及了
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CDer:000413886
 楼主| 发表于 2021-05-05 18:37 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

本帖最后由 havok 于 2021-05-05 19:34 编辑
mac_sed 发表于 2021-04-29 20:25
那么这台机器可以配合刻蚀机进行SADP吗?


              
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CDer:000413886
 楼主| 发表于 2021-05-05 18:38 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

mac_sed 发表于 2021-04-30 13:58
这条产线光刻机还没办法加入吧 只能算是技术上接近去美化的产线
16nmFF感觉浸入式也不能进去做FEOL

会加入的      
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CDer:000413886
 楼主| 发表于 2021-05-05 18:39 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

mac_sed 发表于 2021-04-30 13:03
干式双台是在16nm线辅助还是单独新开一条线让它跑FEOL呢

ICRD还有一条90-65nm中试线,产能也增加到了9600片/年
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CDer:000413886
 楼主| 发表于 2021-05-05 18:43 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

fireeyes 发表于 2021-05-01 12:40
如果样机2021年底以前能够上验证线,验证、调试、消除BUG,一切顺利最快也要1年的时间,然后再把商业版的 ...

年底是交付大生产线,不是上验证线。
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CDer:001091980
发表于 2021-05-05 19:07 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-05-05 18:39
ICRD还有一条90-65nm中试线,产能也增加到了9600片/年

这个也是全国产的吗?
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CDer:000406621
发表于 2021-05-05 19:11 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-05-05 18:43
年底是交付大生产线,不是上验证线。

28nm是明年底量产吗?
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CDer:000290626
发表于 2021-05-05 19:21 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-05-05 18:39
ICRD还有一条90-65nm中试线,产能也增加到了9600片/年

800片/月?这个产能有点低啊

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CDer:000159547
发表于 2021-05-05 22:42 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

kukiyi 发表于 2021-05-05 19:21
800片/月?这个产能有点低啊

验证线,生产出来的产品多半是不合格的,这种情况下你生产越多亏得越大。

不过我一直搞不清中试线的产量是怎么计算的,是按验证产品的数量来计算还是最大产能,按说最大产能的话跟正规生产线有什么区别呢?正规产线上要有的设备中试线一样也不能少否则产品出不来。按说如果验证通过,调试好了良率达到标准,这个线也应该能按正规线量产比如2万片/月。
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CDer:001166370
发表于 2021-05-15 10:20 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-05-05 18:43
年底是交付大生产线,不是上验证线。

那也就是现在已经在验证线上了?
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