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CDer:000413886 楼主: havok
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东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

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CDer:000140985
发表于 2021-03-18 14:14 | 显示全部楼层
24年顺利的话28nm应该能商用且良率可以跟现在的差不多了,同时14nm可能也能弄条线开始风险量产了;7nm就有点不好说了,整个产线的设备和材料除了刻蚀机,其他每一种是能达到产线验证阶段的,2025年不知道能凑齐不?
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CDer:000406621
发表于 2021-03-18 18:22 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

Guigui123 发表于 2021-03-16 19:48
也就是说24年全国产前最好的结果是打通28nm

24年量产改进型估计就是14nm。
28nm明年就打通了!
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CDer:001169128
发表于 2021-03-18 18:25 超大游击队员 | 显示全部楼层
firmsoul 发表于 2021-03-18 14:14
24年顺利的话28nm应该能商用且良率可以跟现在的差不多了,同时14nm可能也能弄条线开始风险量产了;7nm就有 ...

感觉145就是这么搞的,7nm以上成熟工艺初步国产化,同时EUV样机搞定,7nm以下突破
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CDer:001164008
发表于 2021-03-18 19:23 超大游击队员 | 显示全部楼层
超大需要好听话 发表于 2021-03-16 19:33
24年?进度有点慢,23年还差不多

22年5-10台不少了
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CDer:000140985
发表于 2021-03-18 20:29 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

jeciq 发表于 2021-03-17 22:23
2025加把劲解决到14nm有希望,主要差光刻机,但14m到时候还是可以买到二手的,其他设备目前看问题不大

2025加把劲我看光刻机问题也不大,毕竟有asml前面探路;就是赶紧把产线搭起来验证,修改,再完善的过程而已,中间的问题前面都有人摸过了,风险比较小,就是时间紧,任务重而已
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CDer:000872308
发表于 2021-03-18 20:38 超大游击队员 | 显示全部楼层
借楼问一句,原来设备和工艺是相互契合的,那么中芯国际基于asml光刻机掌握的14nm乃至将来7  7+等等先进工艺,对国产产线突破这些先进制程,参考意义大不大?有多大的提速效果?
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CDer:001170122
发表于 2021-03-18 21:00 超大游击队员 | 显示全部楼层
qw2124 发表于 2021-03-18 20:38
借楼问一句,原来设备和工艺是相互契合的,那么中芯国际基于asml光刻机掌握的14nm乃至将来7  7+等等先进工 ...

意义当然很大,工艺就是你做菜的手艺,换厨房磨合一下就
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CDer:000159547
发表于 2021-03-19 00:08 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-03-16 20:40
时代不同了,现在上微不是一个人在战斗,比如本贴的东方晶源也是战友之一。再说当年90nm本来就不打算量产 ...

这个凑合用让我想起了2007年“设计定型”的太行发动机,打仗基本不能用。这些低档的光刻机上微没有升级换代的动作吗?这类光刻机的需求也很大的。
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CDer:000776388
发表于 2021-03-19 09:28 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

fireeyes 发表于 2021-03-13 16:40
呃,考核本身不会按什么献礼来吧,万一有什么问题那不是献不成礼了?

我估计现在内部已经有底了,如果感觉是可以的,7月前就要拿出来献礼,如果不行就继续努力,换别的献礼。
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CDer:001169128
发表于 2021-03-19 09:35 超大游击队员 | 显示全部楼层
zhaoyi1009 发表于 2021-03-19 09:28
我估计现在内部已经有底了,如果感觉是可以的,7月前就要拿出来献礼,如果不行就继续努力,换别的献礼。

因为浸润光刻机的项目要在7月结题。就算不能结题,也可以“正在进行客户验证”糊弄过去,我估计67月份浸润光刻机就要官宣了
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CDer:001197501
发表于 2021-03-19 09:44 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

fireeyes 发表于 2021-03-19 00:08
这个凑合用让我想起了2007年“设计定型”的太行发动机,打仗基本不能用。这些低档的光刻机上微没有升级换 ...

当年的低级错误太多了,不具备可比性
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CDer:000489834
发表于 2021-03-19 10:52 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-03-16 19:25
不能,否则就不叫28nm光刻机了

您好,那么这个28nm是单次曝光,还是多次曝光的制程呢?
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CDer:001198559
发表于 2021-03-19 11:27 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

fireeyes 发表于 2021-03-19 00:08
这个凑合用让我想起了2007年“设计定型”的太行发动机,打仗基本不能用。这些低档的光刻机上微没有升级换 ...

有 你当SSC800是啥?
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CDer:001129102
发表于 2021-03-28 21:57 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

ztzhaha 发表于 2021-03-19 09:35
因为浸润光刻机的项目要在7月结题。就算不能结题,也可以“正在进行客户验证”糊弄过去,我估计67月份浸 ...

这玩意最好先不要官宣
宣了 美国还不知道出啥招呢
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CDer:000290626
发表于 2021-03-28 22:09 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

fireeyes 发表于 2021-03-19 00:08
这个凑合用让我想起了2007年“设计定型”的太行发动机,打仗基本不能用。这些低档的光刻机上微没有升级换 ...

上微一直有在卖I-line光刻机啊
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CDer:000413886
 楼主| 发表于 2021-04-05 18:19 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

本帖最后由 havok 于 2021-04-06 09:13 编辑
mac_sed 发表于 2021-03-17 10:04
示范线还没建成 那就是要么还在SMEE或者在ICRD进行测试了


ICRD嘉定厂部分国产设备订单去年就下了。  
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CDer:001169952
发表于 2021-04-05 18:56 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-04-05 18:19
ICRD嘉定厂部分国产设备订单去年就下了,华创、至纯、华海、上微、芯源等都拿到订单合同,华海去年拿到 ...

浸入式机器的极限会在验收的时候测试还是上嘉定产线一并测试?
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CDer:000290626
发表于 2021-04-22 04:16 超大游击队员 | 显示全部楼层
顶上去。。。
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CDer:001169952
发表于 2021-04-29 17:20 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

本帖最后由 mac_sed 于 2021-04-29 20:30 编辑
havok 发表于 2021-03-16 18:25
首台在上海,没有北京。不过明年至少还有5台28nm光刻机出货,2023年可以再出货10台左右。


            
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CDer:000114850
发表于 2021-04-29 18:13 超大游击队员 | 显示全部楼层
mac_sed 发表于 2021-04-29 17:20
现阶段浸入式机台不支持双重曝光(如SADP)吗?还是尚不知道 得等验收结果?

28nm工艺本来就需要SMDP才能实现,以前的光源参数实现不了SMDP而已
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CDer:001169952
发表于 2021-04-29 19:06 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

本帖最后由 mac_sed 于 2021-04-29 20:29 编辑
zxd1981 发表于 2021-04-29 18:13
28nm工艺本来就需要SMDP才能实现,以前的光源参数实现不了SMDP而已


           
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CDer:000413886
 楼主| 发表于 2021-04-29 19:51 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

mac_sed 发表于 2021-04-29 17:20
现阶段浸入式机台不支持双重曝光(如SADP)吗?还是尚不知道 得等验收结果?

28nm节点平面晶体管不需要SADP,FinFET鳍型晶体管形成才需要
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CDer:001169952
发表于 2021-04-29 20:25 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-04-29 19:51
28nm节点平面晶体管不需要SADP,FinFET鳍型晶体管形成才需要

那么这台机器可以配合刻蚀机进行SADP吗?
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CDer:001099480
发表于 2021-04-29 20:56 超大游击队员 | 显示全部楼层
havok 发表于 2021-03-13 19:49
至少明年下半年。

东方晶源和上海微电子的关系类似于ASML与台湾汉微科的关系,只不过上微不会收购东 ...

據說漢微科的創辦人及骨幹都是國內去美國,後來到台灣創業的!
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CDer:001099480
发表于 2021-04-29 22:24 超大游击队员 | 显示全部楼层
fireeyes 发表于 2021-03-18 12:22
战略上重视对手,战术上藐视对手。

半导体制造这一块是我们起步很早可是一直没有成功,其他行业我们 ...

早年計畫經計下,怎麼可能有大發展。
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CDer:001099480
发表于 2021-04-29 22:27 超大游击队员 | 显示全部楼层
fireeyes 发表于 2021-03-19 00:08
这个凑合用让我想起了2007年“设计定型”的太行发动机,打仗基本不能用。这些低档的光刻机上微没有升级换 ...

太行啥時變不能用了?
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CDer:000159547
发表于 2021-04-29 22:33 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

本帖最后由 fireeyes 于 2021-04-29 22:34 编辑
jack2016 发表于 2021-04-29 22:27
太行啥時變不能用了?


你觉得2007年“定型”的时候能用?我是用这个比喻来说上微那个90NM机器,定型5年了可是没听到大量商用的情况,上微现在卖得最好的还是LED光刻机。
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CDer:001099480
发表于 2021-04-29 22:48 超大游击队员 | 显示全部楼层
fireeyes 发表于 2021-04-29 22:33
你觉得2007年“定型”的时候能用?我是用这个比喻来说上微那个90NM机器,定型5年了可是没听到大量商用 ...

這不具可比性,太行是有客戶等著用,上微是跪著求人用?能一樣嗎?
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CDer:001166596
发表于 2021-04-29 22:57 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

fireeyes 发表于 2021-04-29 22:33
你觉得2007年“定型”的时候能用?我是用这个比喻来说上微那个90NM机器,定型5年了可是没听到大量商用 ...

不是说燕东楚微还有哪条国产验证线都在用吗。
至于那些大厂估计个个都是嫌弃的,毕竟之前说过能用但良率感人。
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发表于 2021-04-29 23:24 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

huangminsen1997 发表于 2021-04-29 22:57
不是说燕东楚微还有哪条国产验证线都在用吗。
至于那些大厂估计个个都是嫌弃的,毕竟之前说过能用但良率 ...

不用的话良率永远感人,当然上微自己有没更加努力这也是个问题。
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CDer:001169206
发表于 2021-04-29 23:53 超大游击队员 | 显示全部楼层
firmsoul 发表于 2021-03-18 14:14
24年顺利的话28nm应该能商用且良率可以跟现在的差不多了,同时14nm可能也能弄条线开始风险量产了;7nm就有 ...

现在很多国产设备都可以接近14nm工艺,再过4-5年还做不到7nm?那我看这些国产设备商还是趁早关闭。
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发表于 2021-04-30 00:42 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

308003636 发表于 2021-04-29 23:53
现在很多国产设备都可以接近14nm工艺,再过4-5年还做不到7nm?那我看这些国产设备商还是趁早关闭。

你这要求太高了,28NM出来有上10年了吧,国内代工厂哪怕是用台积电、三星同级别的外国先进设备可曾拿下了国内需求的1/3市场?国内设备厂商有没有建立起哪怕一条全国产设备的28NM生产线?以上都没有,说明这个行业科技含金量很高,不是有钱就行。所以4-5年内我们如果能做到全国产28NM生产线已经是取得了一个伟大的胜利。
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 楼主| 发表于 2021-04-30 11:54 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

mac_sed 发表于 2021-03-17 10:04
示范线还没建成 那就是要么还在SMEE或者在ICRD进行测试了

上微新干式双工件台光刻机在ICRD验证。国产大硅片、光刻胶等也一起在那里配合光刻机验证。ICRD已经把16nm及以下工艺验证线上除浸没光刻机外的其他一些进口设备全换成了国产设备,这条线产能约5000片/年,目前正在调试。
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发表于 2021-04-30 13:03 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-04-30 11:54
上微新干式双工件台光刻机在ICRD验证。国产大硅片、光刻胶等也一起在那里配合光刻机验证。ICRD已经把16nm ...

干式双台是在16nm线辅助还是单独新开一条线让它跑FEOL呢
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CDer:001169952
发表于 2021-04-30 13:17 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-04-30 11:54
上微新干式双工件台光刻机在ICRD验证。国产大硅片、光刻胶等也一起在那里配合光刻机验证。ICRD已经把16nm ...

5000片/年,主要还是中试线啊……
明年的示范线计划是20000片/年还是20000片/月呢
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 楼主| 发表于 2021-04-30 13:47 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

mac_sed 发表于 2021-04-30 13:17
5000片/年,主要还是中试线啊……
明年的示范线计划是20000片/年还是20000片/月呢

5000片/年关键是用全国产设备生产的。目前上海打造中国集成电路全产业链国产化体系建设正在加快推进中,ICRD 16nm以下工艺验证线重点建设自主可控集成电路产业链,为CPU、5G 通信芯片等核心产品提供自主制造的服务,为上海12 英寸生产线提供HKMG、FinFET 等关键共性工艺的研发服务,为国产装备及材料提供高水平验证服务,并可与大生产线进行无缝衔接。
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 楼主| 发表于 2021-04-30 13:47 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

mac_sed 发表于 2021-04-30 13:17
5000片/年,主要还是中试线啊……
明年的示范线计划是20000片/年还是20000片/月呢

20000片/月
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发表于 2021-04-30 13:58 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-04-30 13:47
5000片/年关键是用全国产设备生产的。目前上海打造中国集成电路全产业链国产化体系建设正在加快推进中,I ...

这条产线光刻机还没办法加入吧 只能算是技术上接近去美化的产线
16nmFF感觉浸入式也不能进去做FEOL
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CDer:001164713
发表于 2021-04-30 14:09 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-04-30 11:54
上微新干式双工件台光刻机在ICRD验证。国产大硅片、光刻胶等也一起在那里配合光刻机验证。ICRD已经把16nm ...

哈哈,秒懂,20nm、28nm以上可以实践国产规模商用了,包括光刻机
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发表于 2021-04-30 14:44 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-04-30 11:54
上微新干式双工件台光刻机在ICRD验证。国产大硅片、光刻胶等也一起在那里配合光刻机验证。ICRD已经把16nm ...

这进度喜人呐。但愿都成熟后不再是试验线和参观线,而是能真正生产。国产光刻机能达到的精度,即使美国放开相应技术的ASML产品,也应该禁止进口。
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