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东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

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CDer:000413886
发表于 2021-03-12 16:55 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 havok 于 2021-03-13 20:12 编辑


  东方晶源微电子科技(北京)有限公司(简称东方晶源)集成电路检测装备研发生产基地项目作为承担国家重要战略,正式签约落地北京经开区。该项目占地面积约为45亩(3万平米),预计今年第一季度启动,拟开发应用于集成电路制造业的电子束检测/量测设备,建立满足研发和量产需求的研发生产基地,以电子束硅片缺陷检测设备、电子束关键尺寸量测设备、电子束硅片缺陷复检设备为主要产品。
东方晶源作为02重大专项承接单位,国产光刻机产业联盟成员单位,在上海临港北京亦庄等地均有布局,其多款检测产品将与国产光刻机配合使用。

   

有关其产品的详细信息请查看官网:http://www.dfjy-jx.com/

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CDer:000294737
发表于 2021-03-12 17:01 | 显示全部楼层
以电子束硅片缺陷检测设备、电子束关键尺寸量测设备、电子束硅片缺陷复检设备为主要产品。
=======================================

跟以前的消息相比,东方晶源多了个电子束硅片缺陷复检设备的业务,似乎与上海精测的业务重合了。

http://kfqgw.beijing.gov.cn/zwgk/xwzx/yzxw/202101/t20210129_2246617.html
上海,2020年12月23日——上海精测半导体技术有限公司(简称“上海精测半导体”)宣布推出首款半导体电子束检测设备:eViewTM全自动晶圆缺陷复查设备,并于今日正式交付国内客户,助力半导体产业国产化。该设备是基于扫描电子显微镜技术的复查和分类的设备,应用于集成电路制造过程,可对光学缺陷检测设备的结果进行高分辨率复查、分析和分类,满足10x nm集成电路工艺制程的需求。
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CDer:000413886
 楼主| 发表于 2021-03-12 19:06 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源集成电路检测装备研发生产基地项目正式签约落地

本帖最后由 havok 于 2021-03-13 11:58 编辑

电子束晶圆缺陷检测设备(EBI)应用电子束扫描技术,对硅片表面进行高分辨率成像,通过智能算法检测制造过程中的物理和电气缺陷,为集成电路的开发与量产提供高精度的检测和良率解决方案,这是国内集成电路产业链供应链自主可控的关键一步。
它利用扫描电镜或叫电子束扫描的原理,通过一个高压加速的电子去打到硅片的表面产生的二次电子,然后通过一个传感器去检测二次电子,通过扫描同步的方式实现两维的图像,此两维图像能够达到纳米级的分辨率。
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CDer:000140985
发表于 2021-03-12 19:11 | 显示全部楼层
看来亦庄收集了不少半导体设备链上的厂家
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CDer:000413886
 楼主| 发表于 2021-03-12 19:46 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源集成电路检测装备研发生产基地项目正式签约落地

本帖最后由 havok 于 2021-03-12 19:59 编辑
firmsoul 发表于 2021-03-12 19:11
看来亦庄收集了不少半导体设备链上的厂家


既然要造国产光刻机,那么光刻机曝光后的曝光质量检测也非常重要,也需要国产化。像关键尺寸量测这类设备以前100%依赖进口,国内仅东方晶源能造,东方晶源研发生产基地对于大规模量产这类设备和进一步研发适用于EUV的量测设备具有重要意义。
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CDer:001066113
发表于 2021-03-12 19:54 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源集成电路检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-03-12 19:46
既然要造国产光刻机,那么光刻机曝光后的曝光质量检测也非常重要,也需要国产化。像关键尺寸量测这类设备 ...

上海精测不做这些设备吗?
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CDer:001091980
发表于 2021-03-12 20:02 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源集成电路检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-03-12 19:46
既然要造国产光刻机,那么光刻机曝光后的曝光质量检测也非常重要,也需要国产化。像关键尺寸量测这类设 ...

接下来就是这些量测设备的供应链本地化。
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 楼主| 发表于 2021-03-12 20:04 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源集成电路检测装备研发生产基地项目正式签约落地

本帖最后由 havok 于 2021-03-13 09:19 编辑
jeandja 发表于 2021-03-12 19:54
上海精测不做这些设备吗?


上海精测CD-SEM设备没有,这设备是和光刻机配套研发的
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CDer:000421955
发表于 2021-03-12 20:06 超大游击队员 | 显示全部楼层

Re.东方晶源集成电路检测装备研发生产基地项目正式签约落地

谢谢楼主的转帖。
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CDer:000294737
发表于 2021-03-12 20:17 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源集成电路检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-03-12 19:46
既然要造国产光刻机,那么光刻机曝光后的曝光质量检测也非常重要,也需要国产化。像关键尺寸量测这类设 ...

上海睿励和上海精测都有光学关键尺寸量测设备,上海精测还有电子束缺陷复检设备。
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 楼主| 发表于 2021-03-12 20:31 超大游击队员 | 显示全部楼层

Re.东方晶源集成电路检测装备研发生产基地项目正式签约落地

捍卫真相 发表于 2021-03-12 20:17:35
上海睿励和上海精测都有光学关键尺寸量测设备,上海精测还有电子束缺陷复检设备。
我说的是电子束关键尺寸测量不是光学测量,这种设备分辨率更高 用于光刻曝光后的线宽测量。上海精测没有这种产品
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CDer:000290626
发表于 2021-03-12 21:39 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源集成电路检测装备研发生产基地项目正式签约落地

本帖最后由 kukiyi 于 2021-03-12 21:41 编辑
havok 发表于 2021-03-12 20:31
我说的是电子束关键尺寸测量不是光学测量,这种设备分辨率更高 用于光刻曝光后的线宽测量。上海精测没有这 ...

上海精测有电子束硅片缺陷检测产品






https://www.163.com/dy/article/FUI0N7TE0511A5K4.html

快讯!精测半导体eView全自动晶圆缺陷复查设备正式交付

  上海,2020年12月23日——上海精测半导体技术有限公司(简称“上海精测半导体”)宣布推出首款半导体电子束检测设备:eViewTM全自动晶圆缺陷复查设备,并于今日正式交付国内客户,助力半导体产业国产化。该设备是基于扫描电子显微镜技术的复查和分类的设备,应用于集成电路制造过程,可对光学缺陷检测设备的结果进行高分辨率复查、分析和分类,满足10x nm集成电路工艺制程的需求。

  
  


  据悉,eViewTM采用了自主开发的扫描电子显微镜技术,具有超高的的分辨率,适用于10x nm及以下集成电路制程的工艺缺陷自动检测。


  



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发表于 2021-03-13 04:03 超大游击队员 | 显示全部楼层
havok 发表于 2021-03-12 20:31
我说的是电子束关键尺寸测量不是光学测量,这种设备分辨率更高 用于光刻曝光后的线宽测量。上海精测没有这 ...

这个生产基地什么时候建成投产?
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CDer:001066113
发表于 2021-03-13 05:59 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源集成电路检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-03-12 20:04
上海精测CD-SEM设备没有,这设备是和光刻机配套研发的

检测这块之前一直被卡的死死的,现在有越来越多的企业进来我相信会突破起来更快些。是不是主要技术难度在算法这块呢?
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 楼主| 发表于 2021-03-13 11:51 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源集成电路检测装备研发生产基地项目正式签约落地

本帖最后由 havok 于 2021-03-13 11:55 编辑
kukiyi 发表于 2021-03-12 21:39
上海精测有电子束硅片缺陷检测产品


电子束缺陷检测设备(简称 EBI)与电子束关键尺寸测量设备(简称 CDSEM) 如下图,不是同一种设备,功能上有区别的。目前上海精测没有CDSEM设备,再说上海精测也不是光刻机产业联盟的成员,而东方晶源却是一直参与国产 28nm光刻机开发进程的。

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发表于 2021-03-13 14:18 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源集成电路检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-03-13 11:51
电子束缺陷检测设备(简称 EBI)与电子束关键尺寸测量设备(简称 CDSEM) 如下图,不是同一种设备,功能 ...

SSE800考核还顺利吗?
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CDer:001155804
发表于 2021-03-13 16:19 超大游击队员 | 显示全部楼层
fireeyes 发表于 2021-03-13 14:18
SSE800考核还顺利吗?

七月份得公布了吧!不是说一百周年献礼吗?
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发表于 2021-03-13 16:40 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源集成电路检测装备研发生产基地项目正式签约落地

Guigui123 发表于 2021-03-13 16:19
七月份得公布了吧!不是说一百周年献礼吗?

呃,考核本身不会按什么献礼来吧,万一有什么问题那不是献不成礼了?
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CDer:001170122
发表于 2021-03-13 16:40 超大游击队员 | 显示全部楼层
Guigui123 发表于 2021-03-13 16:19
七月份得公布了吧!不是说一百周年献礼吗?

我估计献礼项目不少
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CDer:001169128
发表于 2021-03-13 16:48 超大游击队员 | 显示全部楼层
fireeyes 发表于 2021-03-13 16:40
呃,考核本身不会按什么献礼来吧,万一有什么问题那不是献不成礼了?

“献礼”这种事不用说完成,只需要正式官宣即可,反正第一批也是年末搞出来
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CDer:001155804
发表于 2021-03-13 17:01 超大游击队员 | 显示全部楼层
ji300p32p17 发表于 2021-03-13 16:40
我估计献礼项目不少

所以现在有什么大的项目都捂着呢!估计什么ws20,h20之类的都没什么声音!
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CDer:001170122
发表于 2021-03-13 17:33 超大游击队员 | 显示全部楼层
Guigui123 发表于 2021-03-13 17:01
所以现在有什么大的项目都捂着呢!估计什么ws20,h20之类的都没什么声音!

我大胆猜测一下,ws15和ws20公开进度,空间站核心舱,28nm光刻机验收,轰20首飞,航空母舰主体完成
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CDer:000413886
 楼主| 发表于 2021-03-13 19:49 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源集成电路检测装备研发生产基地项目正式签约落地

本帖最后由 havok 于 2021-03-13 19:51 编辑
308003636 发表于 2021-03-13 04:03
这个生产基地什么时候建成投产?


至少明年下半年。

东方晶源和上海微电子的关系类似于ASML与台湾汉微科的关系,只不过上微不会收购东方晶源。ASML为什么要收购汉微科?因为技术上有互补性,上海微电子也有同样的需求。从产品类型上看两者也是很类似的,不过东方晶源这次签约的研发生产基地要比汉微科在台湾南科的厂房大得多。

东方晶源产品:


汉微科产品:

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CDer:001198559
发表于 2021-03-13 20:02 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源集成电路检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-03-13 19:49
至少明年下半年。

东方晶源和上海微电子的关系类似于ASML与台湾汉微科的关系,只不过上微不会收购东 ...

希望我们也能造TEM设备啊
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CDer:001097058
发表于 2021-03-13 21:12 | 显示全部楼层
不错,不错。不断进步。
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CDer:000339997
发表于 2021-03-14 00:23 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

fireeyes 发表于 2021-03-13 14:18
SSE800考核还顺利吗?

咋又出来个新型号sse800?
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CDer:000413886
 楼主| 发表于 2021-03-15 19:39 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

本帖最后由 havok 于 2021-03-18 09:13 编辑
fireeyes 发表于 2021-03-13 16:40
呃,考核本身不会按什么献礼来吧,万一有什么问题那不是献不成礼了?


              
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发表于 2021-03-15 20:11 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-03-15 19:39
其实也是献礼工程,而且上海是D的诞生地

航发口也想抢着这个时间献礼来着233(其实Party想你们快点搞好才是最好的献礼啊)
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CDer:001170122
发表于 2021-03-15 21:16 超大游击队员 | 显示全部楼层
A-SET三号机 发表于 2021-03-15 20:11
航发口也想抢着这个时间献礼来着233(其实Party想你们快点搞好才是最好的献礼啊)

航发口想在百年节点公开进度,这倒是很多人爆料过的。
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CDer:001169206
发表于 2021-03-16 01:02 超大游击队员 | 显示全部楼层
ji300p32p17 发表于 2021-03-15 21:16
航发口想在百年节点公开进度,这倒是很多人爆料过的。

献礼表现好点以后经费才能更多
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CDer:001169952
发表于 2021-03-16 14:50 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-03-13 19:49
至少明年下半年。

东方晶源和上海微电子的关系类似于ASML与台湾汉微科的关系,只不过上微不会收购东 ...

今年年底SMEE交付的浸入式是全部在上海示范线还是也会有去北京示范线的呢?
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CDer:000159547
发表于 2021-03-16 15:10 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-03-15 19:39
其实也是献礼工程,而且上海是D的诞生地

你的意思是线上考核其实已经通过,就等着生日那天公布!
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 楼主| 发表于 2021-03-16 18:25 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

mac_sed 发表于 2021-03-16 14:50
今年年底SMEE交付的浸入式是全部在上海示范线还是也会有去北京示范线的呢?

首台在上海,没有北京。不过明年至少还有5台28nm光刻机出货,2023年可以再出货10台左右。
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 楼主| 发表于 2021-03-16 18:26 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

本帖最后由 havok 于 2021-03-18 09:13 编辑
fireeyes 发表于 2021-03-16 15:10
你的意思是线上考核其实已经通过,就等着生日那天公布!


不是这个意思      
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CDer:001169952
发表于 2021-03-16 18:58 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-03-16 18:25
首台在上海,没有北京。不过明年至少还有5台28nm光刻机出货,2023年可以再出货10台左右。

交付给上海进行的是示范线验证吗?就是按照真实的fab情况对机器进行测试
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 楼主| 发表于 2021-03-16 19:02 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

havok 发表于 2021-03-16 18:25
首台在上海,没有北京。不过明年至少还有5台28nm光刻机出货,2023年可以再出货10台左右。

假定28nm光刻机单价是3亿人民币,那么顺利的话上微2023年光是浸没光刻机的销售额就是30亿人民币左右
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发表于 2021-03-16 19:03 超大游击队员 | 显示全部楼层
havok 发表于 2021-03-16 18:25
首台在上海,没有北京。不过明年至少还有5台28nm光刻机出货,2023年可以再出货10台左右。

这些光刻机多次曝光能生产14纳米的芯片吗?
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发表于 2021-03-16 19:22 超大游击队员 | 显示全部楼层
havok 发表于 2021-03-16 19:02
假定28nm光刻机单价是3亿人民币,那么顺利的话上微2023年光是浸没光刻机的销售额就是30亿人民币左右

25年的时候能不能做到年产20台浸没式光刻机?
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 楼主| 发表于 2021-03-16 19:23 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

mac_sed 发表于 2021-03-16 18:58
交付给上海进行的是示范线验证吗?就是按照真实的fab情况对机器进行测试

是的,不过交付产线后还要调试几个月
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 楼主| 发表于 2021-03-16 19:25 | 显示全部楼层

RE: 东方晶源电子束晶圆检测装备研发生产基地项目正式签约落地

超大需要好听话 发表于 2021-03-16 19:03
这些光刻机多次曝光能生产14纳米的芯片吗?

不能,否则就不叫28nm光刻机了
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