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我们如何在没有EVA光刻机的情况下研究有先进的光刻工艺。以及相关的配套技术尼?

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CDer:001165112
发表于 2020-11-18 14:41 超大游击队员 | 显示全部楼层 |阅读模式

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这个有了先进的光刻机跟能生长出先进工艺的芯片
是两码事。你像英特尔他买不到现金的光刻机吗?
可是他就是搞不定,先进的光刻工艺。导致台积电都进入了5纳米的时代了,他还在十纳米的阶段。

那么我们也现在也面临着这个问题,我们如何未雨绸缪,在没有先进的光刻机的前提下,预先研究先进的光刻工艺以及相关的配套技术。掩膜板。光刻胶等等。如果我们。不做事先的医生研究的话,那我们的先进光刻机出来以后还要等一段时间才能过,真正生产出先进工艺的芯片。
可是我们现在没有先进的 EUV光刻机
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CDer:000658878
发表于 2020-11-18 14:55 | 显示全部楼层
实验用的EUV光源还是有的
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CDer:001169128
发表于 2020-11-18 15:22 超大游击队员 | 显示全部楼层
参考西方没有EUV时怎么研制的。
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CDer:001101504
发表于 2020-11-18 15:52 | 显示全部楼层
你的这个话题专业性太强,就别讨论了,也没个结果.
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CDer:000767685
发表于 2020-11-18 16:28 | 显示全部楼层
不是说台积电那个是假货吗?英特尔还是很牛逼的啊
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CDer:001197140
发表于 2020-11-18 21:40 超大游击队员 | 显示全部楼层
台积电的5nm就是EUV生产的,而牙膏厂的10nm用的是ArFi也就是DUV,并且还没解决多重曝光的良率问题,所以才这么拉跨。
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CDer:001063626
发表于 2020-11-19 18:54 | 显示全部楼层
intel是在Finfet工艺上进步慢了,同时在GAA上比较落后,才暂时稍稍输给台积电和三星的。
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CDer:001162574
发表于 2020-11-19 22:33 超大游击队员 | 显示全部楼层
据说我也试验机,量产速度很慢,但可以用于研发。
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