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中科院光刻机重大突破?

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CDer:001188979
 楼主| 发表于 2020-10-17 07:48 超大游击队员 | 显示全部楼层

Re.中科院光刻机重大突破?

Guigui123 发表于 2020-10-17 07:41:22
这个最大突破如果是真的,我估计是euv的光刻技术,因为duv相关的技术突破已经是过去式了!
EUV没那么快,还得等个3-5年。
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CDer:000406621
发表于 2020-10-17 09:58 | 显示全部楼层

RE: 中科院光刻机重大突破?

Guigui123 发表于 2020-10-17 07:41
这个最大突破如果是真的,我估计是euv的光刻技术,因为duv相关的技术突破已经是过去式了!

应该就是DUV,对应之前上微的光刻机年底前验收。
EUV估计还得两三年时间。
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CDer:001155804
发表于 2020-10-17 10:04 超大游击队员 | 显示全部楼层
如果是duv光刻机那也是上海政府向中央汇报吧?中科院只是duv光刻机技术中的一部分。
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CDer:001155804
发表于 2020-10-17 10:09 超大游击队员 | 显示全部楼层
目前得到的消息是euv光源等关键技术是中科院的研究所在公关
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CDer:000264005
发表于 2020-10-17 10:20 超大游击队员 | 显示全部楼层
Guigui123 发表于 2020-10-17 10:09
目前得到的消息是euv光源等关键技术是中科院的研究所在公关

主要是哈工大和长春光机所
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CDer:000413886
发表于 2020-10-17 10:22 | 显示全部楼层

RE: 中科院光刻机重大突破?

Guigui123 发表于 2020-10-17 10:04
如果是duv光刻机那也是上海政府向中央汇报吧?中科院只是duv光刻机技术中的一部分。

都还没验收不知道汇报什么 倒是市政府经常有人到上微来调研了解情况。中科院下属部门多了,中科院微电子所的光刻总体部才是负责光刻机研发的最高头头。
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CDer:001169128
发表于 2020-10-17 10:31 超大游击队员 | 显示全部楼层
havok 发表于 2020-10-17 10:22
都还没验收不知道汇报什么 倒是市政府经常有人到上微来调研了解情况。中科院下属部门多了,中科院微电子 ...

可能性1就是子系统可能全交付开始总集成了,中科院毕竟干了活,估计去找中央邀功请赏
可能性2就是EUV要有大新闻了
可能性3把这几年的成果汇总,美其名曰“重大成果”
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CDer:000667296
发表于 2020-10-17 10:35 | 显示全部楼层
重大突破,是不是有新的理论,不用EUV光刻机,用新的理论来进行高制程光刻制造
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CDer:001155804
发表于 2020-10-17 12:58 超大游击队员 | 显示全部楼层
havok 发表于 2020-10-17 10:22
都还没验收不知道汇报什么 倒是市政府经常有人到上微来调研了解情况。中科院下属部门多了,中科院微电子 ...

请教现在28nm光刻机个系统都到齐了吗?
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CDer:000261568
发表于 2020-10-18 18:18 | 显示全部楼层

RE: 中科院光刻机重大突破?

升阻比 发表于 2020-10-16 11:10
永远差一代,超越…不存在的。静候打脸

差一代,也不错,至少可以涵盖90%芯片制造,只是怕中国造出来,外国人就放开,企图扼杀在摇篮中,一旦断档,别人就卡脖子
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CDer:000261568
发表于 2020-10-18 18:19 | 显示全部楼层

RE: 中科院光刻机重大突破?

Guigui123 发表于 2020-10-17 07:41
这个最大突破如果是真的,我估计是euv的光刻技术,因为duv相关的技术突破已经是过去式了!

duv就可以生产7nm的芯片,不错了。
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CDer:000260116
发表于 2020-10-18 19:32 | 显示全部楼层

RE: 中科院光刻机重大突破?

kanhai1978 发表于 2020-10-18 18:18
差一代,也不错,至少可以涵盖90%芯片制造,只是怕中国造出来,外国人就放开,企图扼杀在摇篮中,一旦断 ...

企业都已经被川普吓的半死了,应该不会那么不长记性
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CDer:001169128
发表于 2020-10-18 19:43 超大游击队员 | 显示全部楼层
kanhai1978 发表于 2020-10-18 18:18
差一代,也不错,至少可以涵盖90%芯片制造,只是怕中国造出来,外国人就放开,企图扼杀在摇篮中,一旦断 ...

这人一直在IT版黑我们,不用跟他讲道理
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CDer:001188979
 楼主| 发表于 2020-10-18 19:54 超大游击队员 | 显示全部楼层

Re.中科院光刻机重大突破?

Guigui123 发表于 2020-10-17 12:58:33
请教现在28nm光刻机个系统都到齐了吗?
齐了吧。物镜系统这个月刚交付。
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CDer:001165112
发表于 2020-10-22 23:08 超大游击队员 | 显示全部楼层

Re.中科院光刻机重大突破?

邂逅Samuel 发表于 2020-10-16 08:39:54
明年就能看到样机了。如果明年上半年顺利通过验收,那所有子系统的产业化基地都将正式动工,包括华卓精科和国望光学。不知道上微会不会建新厂。
目前先搞定7纳米的。 DUv就duv.先用着。EUV面也有比较好的消息。哈工大的150瓦EUV光源
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CDer:000111300
发表于 2020-10-23 15:14 | 显示全部楼层

RE: 中科院光刻机重大突破?

狗熊二 发表于 2020-10-22 23:08
目前先搞定7纳米的。 DUv就duv.先用着。EUV面也有比较好的消息。哈工大的150瓦EUV光源

哈工大的150瓦EUV光源搞定了吗?
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CDer:000974852
发表于 2020-10-23 15:33 | 显示全部楼层

RE: 中科院光刻机重大突破?

coolboy520 发表于 2020-10-23 15:14
哈工大的150瓦EUV光源搞定了吗?

别问这种没意思的话,版上的人把光刻机当电脑了,凑齐部件就可以攒机了?
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CDer:001169128
发表于 2020-10-23 16:00 超大游击队员 | 显示全部楼层
cliassh1982 发表于 2020-10-23 15:33
别问这种没意思的话,版上的人把光刻机当电脑了,凑齐部件就可以攒机了?

别的不知道,但没有部件肯定攒不了光刻机,难道没有部件的突破凭空造出一个光刻机?
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CDer:000974852
发表于 2020-10-23 17:33 | 显示全部楼层

RE: 中科院光刻机重大突破?

ztzhaha 发表于 2020-10-23 16:00
别的不知道,但没有部件肯定攒不了光刻机,难道没有部件的突破凭空造出一个光刻机?

有部件离成功造出可用的光刻机还远着呢,这里的人太乐观了。
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CDer:000396243
发表于 2020-10-24 09:18 超大游击队员 | 显示全部楼层
cliassh1982 发表于 2020-10-23 17:33
有部件离成功造出可用的光刻机还远着呢,这里的人太乐观了。

有进展好过没进展,有进展让你很不高兴那?
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CDer:000020406
发表于 2020-10-24 09:25 超大游击队员 | 显示全部楼层
havok 发表于 2020-10-17 10:22
都还没验收不知道汇报什么 倒是市政府经常有人到上微来调研了解情况。中科院下属部门多了,中科院微电子 ...

汇报完了,才验收的。不然,你验收了,但达不到要求,还得返工。
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CDer:000974852
发表于 2020-10-24 15:02 | 显示全部楼层

RE: 中科院光刻机重大突破?

john19880728 发表于 2020-10-24 09:18
有进展好过没进展,有进展让你很不高兴那?

你哪只眼睛看到我不高兴了?
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