超级大本营军事论坛

 找回密码
 加入超大军事

QQ登录

只需一步,快速开始

查看: 6960|回复: 22
收起左侧

中国euv现在光源与反射系统还没搞定

[复制链接]
CDer:000176026
发表于 2020-08-01 08:33 超大游击队员 | 显示全部楼层 |阅读模式

更多精彩专业军事内容,期待你的加入!

您需要 登录 才可以下载或查看,没有帐号?加入超大军事

x
euv与duv最大的区别应该就是光源与反射系统了,双工作台应该可以通用。

现在国内好像还没有搞定euv光源与反射系统。

最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000360888
发表于 2020-08-01 09:22 | 显示全部楼层
困难是肯定有的,不用怕只要按照科学规律去搞就是。我想以现在的重视程度三年内突破还是有希望的。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000590653
发表于 2020-08-01 09:23 超大游击队员 | 显示全部楼层
EUV光学系统加工难度很大。
中国的“慧眼”X射线天文望远镜就是使用了直接解调成像方式,绕开了西方国家同类仪器使用的掠射式光学系统所需要的精密制造技术。
不过最近研制成功的磁流变抛光设备,不知道能不能解决光学系统中的制造问题。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001137415
发表于 2020-08-01 09:28 超大游击队员 | 显示全部楼层
环境控制真空系统,掩膜台,光罩,气液系统,还有光收集器之类的,好像没什么太一样的东西,剩下的对准调平对焦减震硅片传输的掩膜传输之类或许技术相关性还挺强,感觉也不像用现有的直接能用的样子。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001137415
发表于 2020-08-01 09:30 超大游击队员 | 显示全部楼层
学士后 发表于 2020-08-01 09:23
EUV光学系统加工难度很大。
中国的“慧眼”X射线天文望远镜就是使用了直接解调成像方式,绕开了西方国家同 ...

国内和国际上的磁流变机床研发成功很久了,一直用在光刻机物镜加工上来着。x射线先别想,效率一直不行来着,要量产还靠投影步进光刻。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001112352
发表于 2020-08-01 09:56 | 显示全部楼层
长春光机所在搞反射镜
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000403002
发表于 2020-08-01 11:02 | 显示全部楼层
听说中国激光世界第一,搞个光源以前没需要,现在应该是几个月的事情。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000970693
发表于 2020-08-01 11:47 超大游击队员 | 显示全部楼层
如果说一件东西搞不定,其中一大原因必然是给钱太少。希望国家在这个产业都投资。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000413886
发表于 2020-08-01 13:06 | 显示全部楼层

RE: 中国euv现在光源与反射系统还没搞定

本帖最后由 havok 于 2020-08-01 13:12 编辑

euv与duv的区别非常多,没搞定的也非常多,双工作台也不能直接通用。工艺方面的主要区别:
20200801130256.png
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001130357
发表于 2020-08-01 13:11 | 显示全部楼层
没消息就是好消息!
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000161337
发表于 2020-08-01 14:49 超大游击队员 | 显示全部楼层
赶羚羊 发表于 2020-08-01 11:02
听说中国激光世界第一,搞个光源以前没需要,现在应该是几个月的事情。

激光兵器不用特定波长,固体激光发射器,激发出什么就用什么。euv却是特定13.5nm,要用打靶方式二次激发。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001051719
发表于 2020-08-01 20:19 超大游击队员 | 显示全部楼层
貌似2017还是2018,长光所,有euv阶段成果验收会。应该是镜头
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001166674
发表于 2020-08-01 23:54 | 显示全部楼层
上面的小伙伴提到了,肯定是钱不够多,没有钱搞不定的
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000159547
发表于 2020-08-01 23:59 | 显示全部楼层
现在我们连DUV都没搞定还EUV,要求太高了。准确的说我们连设备的应用都只是个初级阶段就要搞定设备本身,还是最高级的设备,这根本就是违反客观规律的。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001155804
发表于 2020-08-02 00:14 超大游击队员 | 显示全部楼层
据说duv和euv在同步搞,再说了也没证据说euv是建立在duv的基础上的
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000590653
发表于 2020-08-04 07:35 超大游击队员 | 显示全部楼层
暴力一点,光源的问题搞个FEL的极紫外光源算了!
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001100843
发表于 2020-08-04 08:22 超大游击队员 | 显示全部楼层
赶羚羊 发表于 2020-08-01 11:02
听说中国激光世界第一,搞个光源以前没需要,现在应该是几个月的事情。

euv不是激光。实际上光刻机只有duv光源阶段是用的激光
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000403002
发表于 2020-08-04 09:01 | 显示全部楼层

RE: 中国euv现在光源与反射系统还没搞定

bugs_j2 发表于 2020-08-04 08:22
euv不是激光。实际上光刻机只有duv光源阶段是用的激光

原来EUV光源不是激光啊,那是啥光源?
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001067208
发表于 2020-08-04 10:28 | 显示全部楼层
都是大神, 专业! 佩服!
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000284559
发表于 2020-08-04 14:13 超大游击队员 | 显示全部楼层
本帖最后由 浮岛 于 2020-08-04 14:18 编辑
赶羚羊 发表于 2020-08-04 09:01
原来EUV光源不是激光啊,那是啥光源?


据说先用激光照射融化蒸发的锡雾,再把从锡雾里反射回来的光线收集起来,轿直均匀后输入光刻机!
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000403002
发表于 2020-08-04 14:16 | 显示全部楼层

RE: 中国euv现在光源与反射系统还没搞定

浮岛 发表于 2020-08-04 14:13
据说先用激光照射蒸发的锡雾,再把从锡雾里反射回来的光线收集起来,轿直后输入光刻机!

那不还是激光?初级激光激发的次级激光。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001166067
发表于 2020-08-04 16:30 超大游击队员 | 显示全部楼层
这帖子透露了一股大跃进的味道。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000284559
发表于 2020-08-04 21:55 超大游击队员 | 显示全部楼层
乐观家族 发表于 2020-08-04 16:30
这帖子透露了一股大跃进的味道。

难度比大跃进低多了!
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
您需要登录后才可以回帖 登录 | 加入超大军事

本版积分规则

监狱|手机|联系|超级大本营军事论坛 ( 京ICP备13042948号 | 京公网安备11010602010161 )

声明:论坛言论仅代表网友个人观点,不代表超级大本营军事网站立场

Powered by Discuz © 2002-2020 超级大本营军事网站 CJDBY.net (违法及不良信息举报电话:13410849082)

最具影响力中文军事论坛 - Most Influential Chinese Military Forum

GMT+8, 2020-08-15 21:05 , Processed in 0.027202 second(s), 6 queries , Gzip On, Redis On.

快速回复 返回顶部 返回列表