超级大本营军事论坛

 找回密码
 加入超大军事

QQ登录

只需一步,快速开始

CDer:000413886 楼主: havok
收起左侧

SMEE 800系列光刻机图形用户界面

[复制链接]
CDer:001112352
发表于 2020-2-11 10:48 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

urin1010 发表于 2020-2-11 10:27
可以找俄国人,euv工程基础是俄国人在70年代最先搞出来的准分子激光器。euv概念日本人提的,工程实现是德 ...

那都是半个世纪前的事情了
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
头像被屏蔽
发表于 2020-2-11 10:49 超大游击队员 | 显示全部楼层
surfman 发表于 2020-2-10 16:02
ASML的EUV光刻机,也是在光源上卡了好几年,所以看起来光源是最难的。其他部件也要突破,但时间上可能会更 ...

最难的不是光源,而是投影物镜。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
头像被屏蔽
发表于 2020-2-11 10:51 超大游击队员 | 显示全部楼层
A-SET 发表于 2020-2-11 10:48
那都是半个世纪前的事情了

往往要的就是这类老东西,德国人其实也是主要靠东蔡-也就是如今的耶拿光学。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001137415
发表于 2020-2-11 10:52 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

fireeyes 发表于 2020-2-10 22:29
现在这条国产线全线打通了吗,利用率和产能如何?

他们暂时好像是是百分之70
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001112352
发表于 2020-2-11 11:03 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

urin1010 发表于 2020-2-11 10:51
往往要的就是这类老东西,德国人其实也是主要靠东蔡-也就是如今的耶拿光学。

毛子半导体准分子曝光设备研发的文章我一篇都找不到啊...
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
头像被屏蔽
发表于 2020-2-11 11:08 超大游击队员 | 显示全部楼层
A-SET 发表于 2020-2-11 11:03
毛子半导体准分子曝光设备研发的文章我一篇都找不到啊...

gigaphoton官网一句话说的很明白,说的是准分子激光器。俄国人搞出这玩意比cymer还早。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001137415
发表于 2020-2-11 11:13 超大游击队员 | 显示全部楼层
urin1010 发表于 2020-2-11 10:49
最难的不是光源,而是投影物镜。

都挺难啊我看资料里光源说需要超大二氧化碳打靶装置,线长很低导致打锡液需要提升到超高频率而且你要稳定不能出错,就这一条也太难了,要是不稳定你的成品率可就难看了,同时锡液又会污染收集镜也需要解决。后面的光收集系统效率又要超高一般我看收集率才百分之十几不然功率很低,工业要求的速度达不到就会很慢,产量又达不到要求人家又不用。当然了我不是专业的有错误请指出。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001137415
发表于 2020-2-11 11:15 超大游击队员 | 显示全部楼层
urin1010 发表于 2020-2-11 11:08
gigaphoton官网一句话说的很明白,说的是准分子激光器。俄国人搞出这玩意比cymer还早。

实验室和工业应用简直是两码事啊,难度大了不是一点两点呐。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
头像被屏蔽
发表于 2020-2-11 11:24 超大游击队员 | 显示全部楼层
1154214316 发表于 2020-2-11 11:15
实验室和工业应用简直是两码事啊,难度大了不是一点两点呐。

往往欠缺是思路,而不是成品。其实找他们更多的是扩宽思路。工程应用光教也教不会的,教了也要自己磨。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001112352
发表于 2020-2-11 11:26 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

urin1010 发表于 2020-2-11 11:08
gigaphoton官网一句话说的很明白,说的是准分子激光器。俄国人搞出这玩意比cymer还早。

极紫外与准分子不是一回事啊...
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001137415
发表于 2020-2-11 11:26 超大游击队员 | 显示全部楼层
havok 发表于 2020-2-10 15:43
不止是光源哦还有反射镜、EUV光刻胶、光刻环境控制等等,需要攻关的东西太多了。而且smee也需要扩充自己 ...

话说咱们的euv不知道还是不是smee主导的,会不会换厂家了。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000413886
 楼主| 发表于 2020-2-11 11:38 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

本帖最后由 havok 于 2020-2-11 11:43 编辑
1154214316 发表于 2020-2-11 11:26
话说咱们的euv不知道还是不是smee主导的,会不会换厂家了。


肯定是smee  不会有第二家了。但smee的规模需要扩大,可能会成立分公司。目前北方华创,中微,盛美等都有扩大规模的计划
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001137415
发表于 2020-2-11 11:41 超大游击队员 | 显示全部楼层
urin1010 发表于 2020-2-11 11:24
往往欠缺是思路,而不是成品。其实找他们更多的是扩宽思路。工程应用光教也教不会的,教了也要自己磨。

这种工业应用却不是这方面的的,往往应用落后原理几十甚至百年。euv这技术都好几十年了,实验样机都几十年了就是迟迟不能工业应用。所以我们不太缺思路其实是缺大钱研发,只要钱给够慢慢搞工业产品咱们什么都能做出来。去年那些什么超衍射极限光刻你也看到了,但是工业应用就现在来讲根本用不上。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001137415
发表于 2020-2-11 11:43 超大游击队员 | 显示全部楼层
havok 发表于 2020-2-11 11:38
肯定是smee  不会有第二家了。但smee的规模需要扩大,可能会成立分公司

现在的smee太弱了感觉不加大投资euv怕是搞不定
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000413886
 楼主| 发表于 2020-2-11 11:48 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

1154214316 发表于 2020-2-11 11:43
现在的smee太弱了感觉不加大投资euv怕是搞不定

有国家02专项的资金支持的,smee现在有近2000人的规模,作为纯光刻机厂商已经很牛了。但我觉得要搞定EUV,人员规模至少要扩大一倍。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000159547
发表于 2020-2-11 11:58 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

havok 发表于 2020-2-11 10:45
今年 1 季度就可以实现量产,不清楚他们用的是哪家的光刻机,用国产光刻机可能性比较大

好像这条线是110NM-250NM,以前有人提过,制程不高而且带有国产设备验证目的,那光刻机应该是国产的。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001137415
发表于 2020-2-11 12:16 超大游击队员 | 显示全部楼层
havok 发表于 2020-2-11 11:48
有国家02专项的资金支持的,smee现在有近2000人的规模,作为纯光刻机厂商已经很牛了。但我觉得要搞定EUV ...

提高整机系数可太难了,感觉机床和这东西都比不了,不过掩膜台之类的也归smee搞嘛还有真空系统之类的,要是的话可太难了。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
头像被屏蔽
发表于 2020-2-11 12:16 超大游击队员 | 显示全部楼层
1154214316 发表于 2020-2-11 11:13
都挺难啊我看资料里光源说需要超大二氧化碳打靶装置,线长很低导致打锡液需要提升到超高频率而且你要稳定 ...

这属于激光器范畴,asml如今这块靠通快。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001137415
发表于 2020-2-11 12:18 超大游击队员 | 显示全部楼层
fireeyes 发表于 2020-2-11 11:58
好像这条线是110NM-250NM,以前有人提过,制程不高而且带有国产设备验证目的,那光刻机应该是国产的。

之前也有说法是那台出货的国产是研究所买的,这台产线上的是二手asml,以后百分之百的才用国产的,当然了我也希望是国产货。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001137415
发表于 2020-2-11 12:23 超大游击队员 | 显示全部楼层
urin1010 发表于 2020-2-11 12:16
这属于激光器范畴,asml如今这块靠通快。

我们只能自己搞人家根本没有这种顾虑,听说asml因为迟迟搞不定功率问题euv就卡着了,感觉镜子加工问题没那么大反而是镀膜之类的难度很高。貌似这东西因为波长问题根本不能在空气中传播,超真空也挺难的。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001112352
发表于 2020-2-11 13:28 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

urin1010 发表于 2020-2-11 12:16
这属于激光器范畴,asml如今这块靠通快。

国产就没走大功率CO2激光器 ...倒是大功率光纤激光器有不少
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
头像被屏蔽
发表于 2020-2-11 13:50 超大游击队员 | 显示全部楼层
A-SET 发表于 2020-2-11 13:28
国产就没走大功率CO2激光器 ...倒是大功率光纤激光器有不少

如果要借鉴实现,那么还是要走co2激光器路线。找俄国人也就有必要了。当前也的确和俄国人在激光方面有合作,武汉那边就有。武汉光谷,是目前中国激光产业的一大核心聚集地。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001137415
发表于 2020-2-11 14:09 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

urin1010 发表于 2020-2-11 13:50
如果要借鉴实现,那么还是要走co2激光器路线。找俄国人也就有必要了。当前也的确和俄国人在激光方面有合 ...

俄罗斯人貌似固体激光挺强,这种分子激光不知道怎么样,原理差距还是挺大的,虽然不知道为什么你比较认可俄罗斯人,但是我觉得技术掌握在自己手里才安全,不然晋华算是白受苦了。你可以看看印度航母又延期了,原因就是俄罗斯人。咱花钱给俄罗斯人培养人才这事干的太亏。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001112352
发表于 2020-2-11 14:23 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

urin1010 发表于 2020-2-11 13:50
如果要借鉴实现,那么还是要走co2激光器路线。找俄国人也就有必要了。当前也的确和俄国人在激光方面有合 ...

广东智能设备研究院走的是光纤激光器驱动...
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001137415
发表于 2020-2-11 14:28 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

A-SET 发表于 2020-2-11 14:23
广东智能设备研究院走的是光纤激光器驱动...

话说这个是储备研究吧或者说是新路线研究不一定真正用在首台国产euv吧,因为我之前不知道哪里看到的哈工大也在搞euv光源,当然有可能记错了是别研究所。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
头像被屏蔽
发表于 2020-2-11 14:29 超大游击队员 | 显示全部楼层
1154214316 发表于 2020-2-11 14:09
俄罗斯人貌似固体激光挺强,这种分子激光不知道怎么样,原理差距还是挺大的,虽然不知道为什么你比较认可 ...

因为苏联实在太强了,留个俄罗斯的遗产都是异常丰厚,俄国人就算吃老本,也可以混很多年。另外俄国人逐渐恢复,很多项目也在恢复,一些也获得新进展。俄国人组建了国家集团,使得很多项目又有了统一的规划,自然随着挖掘工作的开展和新思路的引入,另外资本工具也会用了,这是苏联时代没有的技能。目前俄国的金融实力对比苏联时代还是明显加强的。
苏联解体,失去了话语权,加上西方舆论的误导,导致中国人其实并没有意识到这个曾经的超级大国不是称号而已。随着获得信息获取方式越来越便捷,这些误导的错误观念也在逐渐更正,也就看到越来越多的实际案例以验证之前那些误导言论的错误。
去年正好碰上一个西屋电气的高管,和他随便聊了一两句,只说重点内容:法国阿海珐(前核电一哥)是仿他们的,至于俄罗斯原子能公司(如今的核电一哥)产品核心竞争力便宜,这就说明技术路线的独立性。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001112352
发表于 2020-2-11 14:29 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

1154214316 发表于 2020-2-11 14:28
话说这个是储备研究吧或者说是新路线研究不一定真正用在首台国产euv吧,因为我之前不知道哪里看到的哈工 ...

哈工大走的是DPP 而华中科技大学 上光所整的是LPP吧
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001112352
发表于 2020-2-11 14:30 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

urin1010 发表于 2020-2-11 14:29
因为苏联实在太强了,留个俄罗斯的遗产都是异常丰厚,俄国人就算吃老本,也可以混很多年。另外俄国人逐渐 ...

不好说啊 中美为了维持巨大的科研体系投入是每年五千亿美元级别的 毛子就算按照购买力算要到5000亿美元级别这种水平也要被榨干八分之一GDP啊
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001112352
发表于 2020-2-11 14:31 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

urin1010 发表于 2020-2-11 14:29
因为苏联实在太强了,留个俄罗斯的遗产都是异常丰厚,俄国人就算吃老本,也可以混很多年。另外俄国人逐渐 ...

我是不信毛子靠中美十分之一级别的研发投入(按照购买力计算 乘以了三四倍的系数后)可以维持那么多领先的
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001137415
发表于 2020-2-11 14:32 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

A-SET 发表于 2020-2-11 14:29
哈工大走的是DPP 而华中科技大学 上光所整的是LPP吧

看了一眼感觉lpp比较靠谱,毕竟asml都成了,摸着asml过河可比重搞简单多了。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001112352
发表于 2020-2-11 14:33 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

1154214316 发表于 2020-2-11 14:32
看了一眼感觉lpp比较靠谱,毕竟asml都成了,摸着asml过河可比重搞简单多了。

差不多 Cymer Gigaphoton与德国那个被Ushio收购的都是LPP路线
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001137415
发表于 2020-2-11 14:40 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

urin1010 发表于 2020-2-11 14:29
因为苏联实在太强了,留个俄罗斯的遗产都是异常丰厚,俄国人就算吃老本,也可以混很多年。另外俄国人逐渐 ...

老东西老原理你必须要持续发展才强,俄罗斯人的核电站这么多年一直在投资发展没断过还有人才的引导性挺重要,所以俄罗斯人核电站才强因为有钱发展,现在差不多是世界最强之一了吧。你再看看俄罗斯半导体工业不敢说啥也没有也差不多就7 80年代那个剩下的绝对不够,连电子工业都没剩下啥对半导体的需求更少,更是不需要光刻机,对发展这东西毫无动力更何况是子系统,再说了这么多年我们虽然停滞了但光刻需求还是有的,这东西还是自己发展吧。感觉找俄罗斯都不如找日本,但是还是自己搞好。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001038011
发表于 2020-2-11 16:41 超大游击队员 | 显示全部楼层
1154214316 发表于 2020-2-11 14:32
看了一眼感觉lpp比较靠谱,毕竟asml都成了,摸着asml过河可比重搞简单多了。

如果走相同技术路线的话,会不会遇到专利壁垒?
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001137415
发表于 2020-2-11 16:58 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

白衫少年 发表于 2020-2-11 16:41
如果走相同技术路线的话,会不会遇到专利壁垒?

应该会的,但是感觉等咱们出来的时候专利都快过期了大不了先交专利费国内用,反正asml的euv大概率一时半会咱们也拿不到了,最后技术要是真成熟了要是卡咱们直接反垄断要么专利授权要么罚钱。不过等咱们出来的时候asml早就更强了,弄不好还要把落后专利拿出来赚咱们一笔。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
头像被屏蔽
发表于 2020-2-11 17:12 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

1154214316 发表于 2020-2-11 14:40
老东西老原理你必须要持续发展才强,俄罗斯人的核电站这么多年一直在投资发展没断过还有人才的引导性挺重 ...

找日本,不如找德国,关键是他们会给你吗?日本的研究就是靠德国的。要合作只有找有能力的并且目前没有直接竞争关系的才有可能。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000926907
发表于 2020-2-11 17:20 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

lizhiling 发表于 2020-2-8 14:45
日本相机镜头好,为啥向荷兰光刻机没有日本镜头?

尼康Nikon是Nippon的ikon,ikon是德国蔡司的品牌。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001137415
发表于 2020-2-11 17:37 | 显示全部楼层

RE: SMEE 800系列光刻机图形用户界面

urin1010 发表于 2020-2-11 17:12
找日本,不如找德国,关键是他们会给你吗?日本的研究就是靠德国的。要合作只有找有能力的并且目前没有直 ...

兄弟啊我希望你能给点资料啊,德国那部分研究靠德国,德国除了蔡司在光学领域水平很高然后哪你不会真的认为光刻机只有光学系统难整吧,调平调焦系统 自动对准 减震台 掩mo tai再说了精密光学部分日本美国都很强甚至我们都不弱,蔡司只是专精光刻镜头而已。再说了日本已经落后了为了抗衡第一合作也是很正常的事。其实asml和上海微电子都有合作不稀奇。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
头像被屏蔽
发表于 2020-2-11 18:59 超大游击队员 | 显示全部楼层
havok 发表于 2020-2-7 19:01
别看写的是28纳米,这个可以生产14纳米芯片的。

按照amdl的光刻机的表现,理论上可以生产7mm env以上所有的制程
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
头像被屏蔽
发表于 2020-2-11 19:00 超大游击队员 | 显示全部楼层
Taliban班长 发表于 2020-2-7 19:10
对的,搞定了28纳米的光刻机,是可以直接生产7纳米的芯片的,但前提是生产工艺得你自己研发,实际上ASML ...

貌似7nm duv也可以用现有的amsl做出来,但euv个以下制程的那就不行了
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
头像被屏蔽
发表于 2020-2-11 19:01 超大游击队员 | 显示全部楼层
havok 发表于 2020-2-7 19:28
ASML虽然没有禁运,但是他一台DUV的价格摆在那里,交货期还很长,机器保养维修零件等等都是不小的费用, ...

国产机器的成本不会低的,尤其最开始的时候
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
您需要登录后才可以回帖 登录 | 加入超大军事

本版积分规则

监狱|手机|联系|超级大本营军事论坛 ( 京ICP备13042948号 | 京公网安备11010602010161 )

声明:论坛言论仅代表网友个人观点,不代表超级大本营军事网站立场

Powered by Discuz © 2002-2020 超级大本营军事网站 CJDBY.net (违法及不良信息举报电话:13410849082)

最具影响力中文军事论坛 - Most Influential Chinese Military Forum

GMT+8, 2020-2-28 08:25 , Processed in 0.032508 second(s), 4 queries , Gzip On, Redis On.

快速回复 返回顶部 返回列表