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烁科精微CMP设备即将启动验证,将打破依靠进口局面

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CDer:000334765
发表于 2019-11-25 22:43 超大游击队员 | 显示全部楼层 |阅读模式

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烁科精微CMP设备即将启动验证,将打破依靠进口局面

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11:53 爱集微
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集微网消息,近日,北京经开区北京烁科精微电子装备有限公司研发的CMP设备即将启动验证,助力集成电路产业发展。

据悉,烁科精微CMP设备配备了高精度研磨压力控制系统,增加了抛光垫在线复杂曲线修整模式,更新了化学液的控制方式,提升了控制精度,对经常需要维护的部件进行了结构改进,缩短了单次维护时间,提升了产品性能。

图片来源:北京亦庄

值得注意的是,烁科精微已经建立国内首个集成8英寸和12英寸的CMP整体方案开发平台,支持CMP相关工艺材料验证,工艺研发及设备优化,构建起“产品+工艺+材料+服务”的系统解决方案,建立CMP高端技术生态链系统。8寸(200mm)CMP设备在推向市场的短短两年中,已经得到行业和市场的逐步认可,完成进口替代。

据北京亦庄报道,烁科精微总经理李婷表示,烁科精微研发的CMP设备满足IC制造中所有复杂平坦化工艺需求,涵盖8寸(200mm)和12寸(300mm)产线,公司批量生产的HJP-200型CMP设备已通过SEMI S2和SEMI F47认证,并通过中芯国际和华虹宏力的大产线产业化验证,进入合格供应商名单,形成批量采购,而12寸(300mm)CMP设备也将于2020年进入工艺验证阶段。

此外,烁科精微总经理李婷还指出,烁科精微设备各项指标符合产线生产的要求,满足0.09um-0.35um工艺节点集成电路生产需要,打破了之前CMP设备只能依靠进口的局面,为集成电路产业CMP设备自主可控提供了保障。(校对/小如)
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CDer:000460126
发表于 2019-11-26 20:45 | 显示全部楼层
干得漂亮.照这个速度明年底,中国就基本建成半导体全产业链了.
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CDer:000159547
发表于 2019-11-27 14:52 | 显示全部楼层

RE: 烁科精微CMP设备即将启动验证,将打破依靠进口局面

lizhiling 发表于 2019-11-26 20:45
干得漂亮.照这个速度明年底,中国就基本建成半导体全产业链了.

还早,我估计得10年左右才能初步建成。就以上的设备最高应用就是0.09μm,也不是说90nm,而且还只是验证性质,这套设备能在几年内替代进口就相当不错了。
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CDer:001118457
发表于 2019-11-27 22:01 超大游击队员 | 显示全部楼层

Re.烁科精微CMP设备即将启动验证,将打破依靠进口局面

fireeyes 发表于 2019-11-27 14:52:42
还早,我估计得10年左右才能初步建成。就以上的设备最高应用就是0.09m,也不是说90nm,而且还只是验证性质,这套设备能在几年内替代进口就相当不错了。
这个工艺节点和制造那个不是一回事
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CDer:001131932
发表于 2019-11-27 22:08 | 显示全部楼层
这个设备很重要吗
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CDer:001131932
发表于 2019-11-27 22:10 | 显示全部楼层

RE: 烁科精微CMP设备即将启动验证,将打破依靠进口局面

fireeyes 发表于 2019-11-27 14:52
还早,我估计得10年左右才能初步建成。就以上的设备最高应用就是0.09μm,也不是说90nm,而且还只是验证性 ...

这意思是说这个设备的精度还是在微米阶段,没有进入纳米阶段?
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CDer:000159547
发表于 2019-11-28 00:36 | 显示全部楼层

RE: 烁科精微CMP设备即将启动验证,将打破依靠进口局面

渔父sunny 发表于 2019-11-27 22:10
这意思是说这个设备的精度还是在微米阶段,没有进入纳米阶段?

他上头说了嘛,最高级别是90NM,但我不知道通过验证的8寸设备最高是多少,所以我估计这个90NM还只是理论值,真正能不能做到,从能用到好用是不是还要经过改进,要多长时间不知道,所以10年后略有小成就相当不错了。
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CDer:001081905
发表于 2019-11-28 08:27 | 显示全部楼层

RE: 烁科精微CMP设备即将启动验证,将打破依靠进口局面

fireeyes 发表于 2019-11-28 00:36
他上头说了嘛,最高级别是90NM,但我不知道通过验证的8寸设备最高是多少,所以我估计这个90NM还只是理论 ...

那么久  看来一些公司喜欢给外人打鸡血
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CDer:000979950
发表于 2019-11-28 13:36 | 显示全部楼层
能用在做多少纳米的芯片上?
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CDer:000159547
发表于 2019-11-29 16:53 | 显示全部楼层

RE: 烁科精微CMP设备即将启动验证,将打破依靠进口局面

南方的黑鹰 发表于 2019-11-27 22:01
这个工艺节点和制造那个不是一回事

你懂这个吗,给我们说一下他的这种规格是怎么回事。
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CDer:000159547
发表于 2019-11-29 16:58 | 显示全部楼层

RE: 烁科精微CMP设备即将启动验证,将打破依靠进口局面


清洗设备,用途估计是光刻机刻好以后用这套设备把上面多余的光刻胶和其他化学物质洗掉,当然没有前道光刻机这么高端,但只要是这个行业的设备就没有什么太低端的,能搞出来就相当不错。
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CDer:001112352
发表于 2019-11-29 18:56 | 显示全部楼层

RE: 烁科精微CMP设备即将启动验证,将打破依靠进口局面

87191666 发表于 2019-11-28 08:27
那么久  看来一些公司喜欢给外人打鸡血

华海清科的CMP设备早就有了... 12英寸先进制程的
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CDer:000343167
发表于 2019-11-29 22:31 | 显示全部楼层
这是化学机械抛光设备,现在最牛逼的是AMAT,长江存储的20K产能就买了32台,其中28台来自AMAT,硅化学机械化学抛光设备和金属化学机械抛光设备都是AMAT,AMAT技术实力很强,只有介质化学机械抛光设备有4台来自华海清科,希望硅化学机械化学抛光设备和金属化学机械抛光设备能看到华海清科的身影。而清洗设备的国内龙头是盛美半导体,在长江存储的20K产能采购清洗设备57台中,盛美半导体就有15台,仅次于DNS的18台,清洗设备采购清单里盛美半导体都是单片式清洗机,槽式清洗机是DNS 6台,TEL2台,J.E.T1台,北方华创2台
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CDer:000343167
发表于 2019-11-29 22:42 | 显示全部楼层
看了长江存储的20K采购清单里,光刻设备、涂胶显影设备、ALD设备、离子注入设备、过程控制设备、晶圆测试机、探针台、原子层沉积设备等无国内设备厂商身影,还得加倍努力,即便是进入采购行列的PVD、CMP、薄膜参数测试及关键尺寸测试设备等只是部分涉及,国内半导体设备厂商还很弱,还需要加倍努力和国家继续支持
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CDer:000343167
发表于 2019-11-29 22:44 | 显示全部楼层
电科装备也在搞离子注入机,不清楚是否符合长江存储的要去
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CDer:000159547
发表于 2019-11-29 23:49 | 显示全部楼层

RE: 烁科精微CMP设备即将启动验证,将打破依靠进口局面

奥观海 发表于 2019-11-29 22:42
看了长江存储的20K采购清单里,光刻设备、涂胶显影设备、ALD设备、离子注入设备、过程控制设备、晶圆测试机 ...

这是没有办法的,产业的升级一定是从终端产品生产--材料--设备这个规律,材料和设备的研制和改进跟生产经验、工艺息息相关,你只有知其然了才能知道怎么去改进材料和设备。现在我们的问题是芯片的生产能力都很差,那材料设备就更差了,在微电子这块如果能做到中国和外国,估计得20年一代人的时间。
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CDer:001131932
发表于 2019-12-1 17:03 | 显示全部楼层

RE: 烁科精微CMP设备即将启动验证,将打破依靠进口局面

fireeyes 发表于 2019-11-29 16:58
清洗设备,用途估计是光刻机刻好以后用这套设备把上面多余的光刻胶和其他化学物质洗掉,当然没有前道光刻 ...

谢谢解答,那这个设备攻克下来了,肯定是好事啊。
自从得知大陆的电脑代工都做不了,才知道半导体领域这种设备攻克下来,绝对是好事。
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CDer:001131932
发表于 2019-12-1 17:04 | 显示全部楼层

RE: 烁科精微CMP设备即将启动验证,将打破依靠进口局面

奥观海 发表于 2019-11-29 22:31
这是化学机械抛光设备,现在最牛逼的是AMAT,长江存储的20K产能就买了32台,其中28台来自AMAT,硅化学机械 ...

这些里面有一些是国产的啊,那国产设备是有基础的啊
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CDer:001131932
发表于 2019-12-1 17:06 | 显示全部楼层

RE: 烁科精微CMP设备即将启动验证,将打破依靠进口局面

fireeyes 发表于 2019-11-29 23:49
这是没有办法的,产业的升级一定是从终端产品生产--材料--设备这个规律,材料和设备的研制和改进跟生产经 ...

赞成,现在生产领域还在攻坚克难,材料方面开始给政策发力了,设备肯定是最难的,是一场持久战。
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CDer:000343167
发表于 2019-12-1 17:15 | 显示全部楼层
如果我们把半导体设备这块硬骨头彻底啃下来,那我国半导体产业迈入强国就有望了
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CDer:001112352
发表于 2019-12-1 19:51 | 显示全部楼层

RE: 烁科精微CMP设备即将启动验证,将打破依靠进口局面

奥观海 发表于 2019-11-29 22:42
看了长江存储的20K采购清单里,光刻设备、涂胶显影设备、ALD设备、离子注入设备、过程控制设备、晶圆测试机 ...

ALD就是原子层沉积  而且你说的那几个没采购国产的除了光刻设备基本都有国产货
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CDer:000590653
发表于 2019-12-1 22:02 超大游击队员 | 显示全部楼层
渔父sunny 发表于 2019-11-27 22:08
这个设备很重要吗

IC制造的四大关键设备:光刻机、刻蚀机、离子注入机和CMP,当然,实际上用到的设备要多得多。
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CDer:000343167
发表于 2019-12-1 23:00 | 显示全部楼层

RE: 烁科精微CMP设备即将启动验证,将打破依靠进口局面

A-SET 发表于 2019-12-1 19:51
ALD就是原子层沉积  而且你说的那几个没采购国产的除了光刻设备基本都有国产货

20K产能采购清单里没有国产原子层沉积设备,沈阳拓荆在研发针对3D NAND的原子层设备,进度未知
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CDer:001112352
发表于 2019-12-1 23:41 | 显示全部楼层

RE: 烁科精微CMP设备即将启动验证,将打破依靠进口局面

奥观海 发表于 2019-12-1 23:00
20K产能采购清单里没有国产原子层沉积设备,沈阳拓荆在研发针对3D NAND的原子层设备,进度未知

沈阳拓荆与北方华创都有ALD 官网有产品介绍
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CDer:000343167
发表于 2019-12-2 19:34 | 显示全部楼层
涂胶显影设备、晶圆测试机、探针台国内有产品?
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CDer:001153244
发表于 2019-12-3 00:11 | 显示全部楼层

RE: 烁科精微CMP设备即将启动验证,将打破依靠进口局面

奥观海 发表于 2019-12-2 19:34
涂胶显影设备、晶圆测试机、探针台国内有产品?

有 但是都没ALD PECVD一类装备水平高
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CDer:000159547
发表于 2019-12-3 12:14 | 显示全部楼层

RE: 烁科精微CMP设备即将启动验证,将打破依靠进口局面

A-SET二号机 发表于 2019-12-3 00:11
有 但是都没ALD PECVD一类装备水平高

进步还是很快的,但是差距实在太大,不是一朝一夕可以赶上的,当务之急是要想办法让他们内部对抗,让那些付出了却没有得利的跟那些没有付出却得利的斗争,只有这样才能为我们争取时间和资源。
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