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CDer:001220742 楼主: ENDURA
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EUV光源消息

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发表于 2021-04-05 12:28 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

havok 发表于 2021-04-05 12:04
长光所也有这种5级级联应用于EUV光刻的高功率高重频窄脉宽MOPA CO2激光器,转民用方面和通快还有不小差 ...

TRUMPF为什么这么牛呢?
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CDer:001198559
发表于 2021-04-05 12:38 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

havok 发表于 2021-04-05 12:04
长光所也有这种5级级联应用于EUV光刻的高功率高重频窄脉宽MOPA CO2激光器,转民用方面和通快还有不小差 ...

毕竟特殊行业需要装备要求与半导体需要的不太一样吧2333
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CDer:000279531
发表于 2021-04-05 12:41 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

havok 发表于 2021-04-05 12:04
长光所也有这种5级级联应用于EUV光刻的高功率高重频窄脉宽MOPA CO2激光器,转民用方面和通快还有不小差 ...

这个激光器你说的那个我国的LPP-EUV的高频大功率CO2激光器的输出平均功率不会低于10kW,重复频率约为50kHz,15~30ns 的是同一个吗
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CDer:000413886
发表于 2021-04-05 12:47 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

本帖最后由 havok 于 2021-04-05 16:35 编辑
A-SET三号机 发表于 2021-04-05 12:38
毕竟特殊行业需要装备要求与半导体需要的不太一样吧2333


半导体制造要求激光器有极高的热稳定性和光束指向稳定性,与预脉冲激光、锡滴发生器的重频要一致 保证每次击中锡靶80%以上才能有>2%的能量转换效率等等  和军用的要求不一样
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CDer:000413886
发表于 2021-04-05 12:52 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

本帖最后由 havok 于 2021-04-05 14:39 编辑
生者为过客 发表于 2021-04-05 12:28
TRUMPF为什么这么牛呢?


暂时还没有成立像通快、三菱这样的企业去运作和研发生产这种激光器
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CDer:001220742
 楼主| 发表于 2021-04-05 15:39 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

havok 发表于 2021-04-05 12:52
暂时还没有成立像通快、三菱这样的企业去运作和研发生产这种激光器

请问上海光机所CO2激光器的验收标准大概是多少KW?相当于ASML哪年的光源?
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CDer:000290626
发表于 2021-04-05 17:14 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

havok 发表于 2021-04-05 12:47
半导体制造要求激光器有极高的热稳定性和光束指向稳定性,与预脉冲激光、锡滴发生器的重频要一致 保证 ...

ASML的EUV好像是用 高速摄像机+机器视觉 系统捕捉下落锡滴的位置,然后调整激光发射方向

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发表于 2021-04-08 16:02 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

本帖最后由 生者为过客 于 2021-04-08 16:11 编辑
havok 发表于 2021-04-05 12:52
暂时还没有成立像通快、三菱这样的企业去运作和研发生产这种激光器


大族激光就是个笑话,其市值最高时候700亿人民币。
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CDer:001040090
发表于 2021-04-08 19:12 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

ENDURA 发表于 2021-03-30 21:45
相关的论文,注意东方晶源的研究人员也是联合作者之一。
https://kns.cnki.net/kcms/detail/detail.aspx ...

普通人访问知网的文献都是要付费的,坑啊。。。
你这就给了个摘要。
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CDer:000413886
发表于 2021-04-16 20:19 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

本帖最后由 havok 于 2021-04-16 20:43 编辑
havok 发表于 2021-04-05 12:52
暂时还没有成立像通快、三菱这样的企业去运作和研发生产这种激光器


上海光机所去年成立了一家专门研发和产业化EUV光源的公司,就是上海神光装备。但它采用的不是通快那种气体激光技术路线,而是光纤激光。国内CO2气体激光长光所和华中科大研究的比较多。
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CDer:000290626
发表于 2021-04-16 20:32 | 显示全部楼层

RE: EUV光源消息

havok 发表于 2021-04-16 20:19
上海光机所去年成立了一家专门研发和产业化EUV光源的公司,就是上海神光装备


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发表于 2021-04-16 23:17 超大游击队员 | 显示全部楼层
华为最好亲自派人开发EUV光源和光学系统
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