超级大本营军事论坛

 找回密码
 加入超大军事

QQ登录

只需一步,快速开始

CDer:000544289 楼主: 尘世游人
收起左侧

中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

[复制链接]
CDer:001137415
发表于 2020-2-23 07:00 超大游击队员 | 显示全部楼层
fireeyes 发表于 2020-2-22 23:58
咱们别说药什么化工吧,这跟光刻相差有点远。光刻机要用到镜头,侦察卫星也要用到镜头,都是高科技的结晶, ...

主要是我们的讨论都忽略了德国蔡司,光算卫星没法说他先进与否。光刻是挺难但是架不住重视啊,工程问题只要钱够问题就不大。但就现在来讲我们的光刻胶一点也不比光刻机先进太多,arf产品俩个都没量产。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001112352
发表于 2020-2-23 09:58 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

fireeyes 发表于 2020-2-22 23:58
咱们别说药什么化工吧,这跟光刻相差有点远。光刻机要用到镜头,侦察卫星也要用到镜头,都是高科技的结晶, ...

中国肯定比俄罗斯强 高精度光学卫星需要高稳定性卫星平台在内一系列技术支持 而毛子这些都不如咱们 更何况我们早就做到0.1米全色分辨率了
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000413886
发表于 2020-2-23 10:33 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

日出东方sc 发表于 2020-2-22 21:16
上面说日本没有双工件平台只能说被部分媒体误导,尼康tandem stage技术不就是双工件平台,包括佳能也有双工 ...

日本的双工件台有文字图片介绍吗
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001070978
发表于 2020-2-23 13:56 超大游击队员 | 显示全部楼层
本帖最后由 ck777 于 2020-2-23 14:12 编辑
1154214316 发表于 2020-2-22 22:42
确实咱们什么都有,可以是这样东西一上高精尖就未必了,要不工信部怎么老宣传“工信部对全国30多家大型企 ...


哪个国家能做到百分百啊!中国已经不错了
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001162646
发表于 2020-2-24 15:12 超大游击队员 | 显示全部楼层
本帖最后由 日出东方sc 于 2020-2-24 15:14 编辑
havok 发表于 2020-2-23 10:33
日本的双工件台有文字图片介绍吗


尼康双工件平台介绍
Screenshot_20200224_150556.jpg
Screenshot_20200224_150708.jpg
Screenshot_20200224_150907.jpg
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001086487
发表于 2020-2-24 15:24 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

havok 发表于 2020-2-23 10:33
日本的双工件台有文字图片介绍吗

不知道华卓的双工台有没有专利壁垒
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001162646
发表于 2020-2-24 15:26 超大游击队员 | 显示全部楼层
佳能双工件台介绍
Screenshot_20200224_152504.jpg
Screenshot_20200224_152445.jpg
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000413886
发表于 2020-2-24 15:47 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

本帖最后由 havok 于 2020-2-24 16:38 编辑
日出东方sc 发表于 2020-2-24 15:12
尼康双工件平台介绍


感谢发资料,看图片感觉这工件台的数据指标不错,但是不知道实际怎样,前面那位中芯的兄弟说尼康实机的数据达不到他宣称的那样。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000413886
发表于 2020-2-24 16:03 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

本帖最后由 havok 于 2020-2-24 16:05 编辑
日出东方sc 发表于 2020-2-24 15:12
尼康双工件平台介绍


这是华卓精科的双工件台数据,对比下看看

DWS/DWSi系列产品采用当今最先进的磁悬浮平面电机双级,极大地提高了生产效率,较好地解决了浸没曝光的超精密测量问题。该方案包括2个高速超精密6自由度晶片夹头,由重载磁悬浮平面电机驱动。DWS/DWSi采用9轴超精密双频激光干涉技术,采用自主开发的先进控制算法,分别支持国产干式和浸没式光刻机在160wph以下实现55nm和45nm分辨率及相关对准精度。
在DWS的基础上,DWSi双级增加了浸没流场的维护、硅片的精密控制、连续液体的双级交换和泄漏保护功能,使其成为高分辨率浸没光刻机。

清华大学研制的双工件台技术性能指标满足65nm步进扫描干式光刻机性能要求,已达到国际同类光刻机双工件台的技术水平。此次成果展上集中展示了清华双工件台系统的核心关键部件——由磁悬浮微动台、磁悬浮平面电机、测量方镜组成的运动模块。磁悬浮微动台具有完全的自主知识产权,是光刻机双工件台纳米级运动精度实现的关键环节,具备6自由度运动功能、可实现优于2nm的定位精度。磁悬浮平面电机是实现双工件台系统高速、高加减速运动核心部件,可实现加速度20m/s2、速度400mm/s的运动性能。
DWSI系列参数英文版.jpg
img-1.jpg



尼康的图片中没有说用的是什么电机技术,他的175wph和我们的160wph相差也不大,华卓现在的这个工件台最大运动加速度≧3g,那个朱教授说他们在研发最大运动加速度≧15g的双工件台。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001112352
发表于 2020-2-24 22:01 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

havok 发表于 2020-2-24 16:03
这是华卓精科的双工件台数据,对比下看看

DWS/DWSi系列产品采用当今最先进的磁悬浮平面电机双级,极 ...

15G/S直接追上ASML最新技术了
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001112352
发表于 2020-2-24 22:02 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

havok 发表于 2020-2-24 16:03
这是华卓精科的双工件台数据,对比下看看

DWS/DWSi系列产品采用当今最先进的磁悬浮平面电机双级,极 ...

你的图片上指标说的是大于3G 最大速度大于1.1米每秒(1100毫米)
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001112352
发表于 2020-2-24 22:03 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

havok 发表于 2020-2-24 16:03
这是华卓精科的双工件台数据,对比下看看

DWS/DWSi系列产品采用当今最先进的磁悬浮平面电机双级,极 ...

分别支持国产干式和浸没式光刻机在160wph以下实现55nm和45nm分辨率及相关对准精度。 这个意思是国产浸入式光刻机(非SSA-800-10W)的验证机已经测试过了吗?
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000413886
发表于 2020-2-25 12:19 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

A-SET 发表于 2020-2-24 22:02
你的图片上指标说的是大于3G 最大速度大于1.1米每秒(1100毫米)

这个是官网上的图片和数据,文字写的400mm/s 但图片上写1.1m/s 不知道哪个是准确的
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000413886
发表于 2020-2-25 12:21 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

A-SET 发表于 2020-2-24 22:01
15G/S直接追上ASML最新技术了

大概2,3年前华卓某大佬在工博会上接受采访时说的
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000413886
发表于 2020-2-25 12:24 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

A-SET 发表于 2020-2-24 22:03
分别支持国产干式和浸没式光刻机在160wph以下实现55nm和45nm分辨率及相关对准精度。 这个意思是国产浸入 ...

可能是传说中的45nm浸没式,800系列除了工件台是华卓的还有上面的掩模台可能也是用华卓的
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000076824
发表于 2020-2-25 12:36 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

A-SET 发表于 2020-2-24 22:03
分别支持国产干式和浸没式光刻机在160wph以下实现55nm和45nm分辨率及相关对准精度。 这个意思是国产浸入 ...

有可能,别的地方我看到某晶圆厂业内人士就说40纳米的制程国产设备和材料差不多了,包括光刻,现在上微在试制45纳米的光刻,28纳米他的用词是在制造样机。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001112352
发表于 2020-2-25 12:41 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

havok 发表于 2020-2-25 12:19
这个是官网上的图片和数据,文字写的400mm/s 但图片上写1.1m/s 不知道哪个是准确的

国内数据经常自相矛盾2333
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001112352
发表于 2020-2-25 12:41 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

天堂风暴 发表于 2020-2-25 12:36
有可能,别的地方我看到某晶圆厂业内人士就说40纳米的制程国产设备和材料差不多了,包括光刻,现在上微在 ...

45,28掌握了就很不错了 一路到5纳米都安全了。就算打全面战争我们也可以继续用到最先进制程了
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000413886
发表于 2020-2-25 12:49 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

天堂风暴 发表于 2020-2-25 12:36
有可能,别的地方我看到某晶圆厂业内人士就说40纳米的制程国产设备和材料差不多了,包括光刻,现在上微在 ...

a3e31dd9c23e42d183bc47dfea40b0a4_th.jpg

这张图上写的是45nm预研
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000413886
发表于 2020-2-25 13:00 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

A-SET 发表于 2020-2-25 12:41
国内数据经常自相矛盾2333

最大速度跟光刻机的产率直接相关,这个数据越高产率越高,而我们的90nm用的是smee自己的单工件台产率只有50片/小时,难怪前面那个兄弟说国产的产速太慢
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000076824
发表于 2020-2-25 13:19 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

havok 发表于 2020-2-25 12:49
这张图上写的是45nm预研

这个大概是啥时候的?都在说28纳米样机今年出,45纳米的估计怎么应该进度也会比28纳米的快一些吧。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000413886
发表于 2020-2-25 13:20 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

本帖最后由 havok 于 2020-2-25 13:26 编辑
A-SET 发表于 2020-2-25 12:41
45,28掌握了就很不错了 一路到5纳米都安全了。就算打全面战争我们也可以继续用到最先进制程了


目前可以确定smee有2台设备卖给了上海集成电路研发中心

研发中心拥有上海微电子装备(集团)股份有限公司(SMEE)制备的12英寸ArF光刻机和12英寸I-line光刻机。ArF光刻机用于193nm ArF干式曝光工艺,其分辨率可以达到90nm半节距,单机套刻精度小于20nm,生产率可以达到50片/小时,适用于90nm制程关键层次曝光如有源层,栅层等。I-line光刻机可用于365nm I-line曝光工艺,其分辨率可以达到280nm半节距,单机套刻精度小于25nm,生产率可以达到50/每小时,适用于90nm及以下制程非关键层次的曝光,如注入层等。
6364454957682486659736426.jpg
SMEE 12英寸ArF光刻机                                   SMEE 12英寸I-line光刻机
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000159547
发表于 2020-2-25 13:32 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

havok 发表于 2020-2-25 13:00
最大速度跟光刻机的产率直接相关,这个数据越高产率越高,而我们的90nm用的是smee自己的单工件台产率只有 ...

现在关键不是产速慢的问题,而是国产设备能不能用,你象前面兄弟说的开一天修两天这显然是不能用,只是国家在补贴勉强用着。解决了能用的问题再解决怎么着好用的问题。哪怕暂时不好用,只要能用,慢就慢点,大不了别人一台机子我们上两台、三台,国家这点钱还是出得起。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000076824
发表于 2020-2-25 13:35 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

havok 发表于 2020-2-25 13:20
目前可以确定smee有2台设备卖给了上海集成电路研发中心

研发中心拥有上海微电子装备(集团)股份有 ...

Arf有了,Krf光刻机没有卖给他们?不过按前头说的,600系只是验证试水性质、故障率较高的话也可以理解,就看800系了。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000076824
发表于 2020-2-25 13:55 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

fireeyes 发表于 2020-2-25 13:32
现在关键不是产速慢的问题,而是国产设备能不能用,你象前面兄弟说的开一天修两天这显然是不能用,只是国 ...


补贴也要维持着这样能力。要是国外光刻机完全买不到、现有的机器的零配件维修保养也全中断时候,开一天修两天的国产光刻就是大家抢着要了啊。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000413886
发表于 2020-2-25 15:38 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

fireeyes 发表于 2020-2-25 13:32
现在关键不是产速慢的问题,而是国产设备能不能用,你象前面兄弟说的开一天修两天这显然是不能用,只是国 ...

他后面不是说能用的嘛 这个不可能一步登天 尼康最早的光刻机肯定也是故障很多的  
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000159547
发表于 2020-2-25 15:42 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

havok 发表于 2020-2-25 15:38
他后面不是说能用的嘛 这个不可能一步登天 尼康最早的光刻机肯定也是故障很多的

他说的是开一天修两天,这是不能用,正常使用更本不能产生效益,只是有国家补贴扛着,但是国家补贴是不可能为几十上百条线同样的机型这样补的,只能是少数几条线在试产验证初期减轻企业的负担,让产品尽快成熟起来。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000159547
发表于 2020-2-25 16:17 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

havok 发表于 2020-2-25 13:20
目前可以确定smee有2台设备卖给了上海集成电路研发中心

研发中心拥有上海微电子装备(集团)股份有 ...

193和365应该是光线波长,这90nm和280nm半节距是什么意思,套刻精度小于25nm是不是指可以生产28NM的芯片呢?
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000413886
发表于 2020-2-25 17:06 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

本帖最后由 havok 于 2020-2-25 17:39 编辑
fireeyes 发表于 2020-2-25 15:42
他说的是开一天修两天,这是不能用,正常使用更本不能产生效益,只是有国家补贴扛着,但是国家补贴是不可 ...


看123楼,中芯都验证通过了他也就吐槽一下维修率高而已。开一天修两天肯定只是个别情况不可能每次都这样的,如果每次都是开一天修两天你觉得smee好意思拿出来卖吗
另外我们对国产机器应该更多点耐心不可能一步登天的,要知道在2015年以前我们连开一天修两天的前道光刻机都造不出!
从另一方面讲以现在smee的集成能力也就勉强做做DUV,EUV是根本做不出的。ASML现在全球有员工近2万人 而smee才区区2千人不到,10倍的差距。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001112352
发表于 2020-2-25 19:05 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

havok 发表于 2020-2-25 17:06
看123楼,中芯都验证通过了他也就吐槽一下维修率高而已。开一天修两天肯定只是个别情况不可能每次都这 ...

话说为啥都宣传SSA-800-10W下线了我们光刻机就超过日本人了
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:000413886
发表于 2020-2-25 21:06 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

A-SET 发表于 2020-2-25 19:05
话说为啥都宣传SSA-800-10W下线了我们光刻机就超过日本人了

我是没这么说过,我不关心是不是超过日本人。但800系列绝对不是600系列能比的,性能会提升非常多,到时候看就知道了。
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
CDer:001112352
发表于 2020-2-25 21:29 | 显示全部楼层

RE: 中芯国际不用EUV光刻机、也能搞定7nm工艺?

havok 发表于 2020-2-25 21:06
我是没这么说过,我不关心是不是超过日本人。但800系列绝对不是600系列能比的,性能会提升非常多,到时候 ...

嗯 希望可以进一步迭代提高每小时生产能力与套刻精度 满足我国DUVi制程直到五纳米级别的战略安全
最具影响力军事论坛-超级大本营军事论坛欢迎你!超然物外,有容乃大。
您需要登录后才可以回帖 登录 | 加入超大军事

本版积分规则

监狱|手机|联系|超级大本营军事论坛 ( 京ICP备13042948号 | 京公网安备11010602010161 )

声明:论坛言论仅代表网友个人观点,不代表超级大本营军事网站立场

Powered by Discuz © 2002-2020 超级大本营军事网站 CJDBY.net (违法及不良信息举报电话:13410849082)

最具影响力中文军事论坛 - Most Influential Chinese Military Forum

GMT+8, 2020-2-29 06:14 , Processed in 0.032179 second(s), 5 queries , Gzip On, Redis On.

快速回复 返回顶部 返回列表