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上海华虹14nm工艺良率已达25%

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CDer:000055888
发表于 2020-1-14 20:27 | 显示全部楼层 |阅读模式

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https://baijiahao.baidu.com/s?id=1655517334326261940&wfr=spider&for=pc

在先进半导体工艺上,国内最大的晶圆代工厂中芯国际SMIC的14nm工艺已经量产,改进版的 12nm工艺也在导入中,取得了优秀的成绩。考虑到国内半导体工艺上的落后,光指望中芯国际一家也是不行的,上海华虹集团日前透露其14nm FinFET工艺也全线贯通,SRAM良率已达25%。

1月12日下午,,华虹集团在无锡新落成的华虹七厂研发大楼召开“开放、创新、合作—华虹集团2020年全球供应商迎新座谈会”,邀请了国内30多家、国外50多家供应商合作伙伴出席,华虹集团高管分享了该公司的最新进展。

华虹方面表示,2019年是华虹集团产能扩张、工艺提升的关键年,该公司多个项目都取得了重要进展:

·作为华虹集团在上海市域以外的第一个制造项目,华虹七厂于9月17日实现顺利投产,首期1万片产能的机台顺利串线并完成一系列工艺验证,进入正常生产阶段,创造了业界同类产线建成投产的最快记录,成为中国大陆第一条12英寸特色工艺产线,也是中国大陆第一条12英寸功率器件代工产线;

·华虹六厂自2018年10月18日投产以来,产能爬坡顺利,目前已经完成月产2万片的装机产能;

·华虹五厂实现连续两年盈利,年度出货量、单日作业量屡创新高;

·华虹宏力8英寸特色工艺制造平台(华虹一、二、三厂)在产能规模、营运效率方面持续保持领先,并连续9年实现盈利。

华虹集团成为业界唯一一家连续两年建设并投产运营两条12英寸生产线的企业

除了产能建设之外,华虹集团在技术研发上也获得了多项重要突破,新研发的65/55纳米节点得射频和BCD特色工艺平台,处于国际先进水平;28纳米工艺(28LP/28HK/28HKC+)均实现量产;22纳米研发快速推进;14纳米研发或重大进展;更先进技术节点的先导工艺研发快速部署。

尤其是最新一代的工艺,华虹集团总工程师赵宇航指出其14nm FinFET工艺已经全线贯通,SRAM良率25%,2020年将快速推进。

这也是华虹集团首次对外公布14nm工艺的具体良率情况,SRAM芯片的25%良率对生产来说肯定不行,但是对研发、实验来说已经是一大进步。

在总体进度上,华虹的14nm工艺肯定是不如中芯国际的14nm快的,后者的14nm工艺去年良率就达到了95%,并已经开始进入量产阶段,比国家预定目标提前一年,现在正在产能提升及新工艺导入阶段。
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CDer:000460126
发表于 2020-1-14 20:46 | 显示全部楼层
这个前几天不是发了吗?现在又发
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