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进军光刻胶屡屡受阻,上海新阳路向何方?

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发表于 2019-7-20 15:21 | 显示全部楼层 |阅读模式

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合作不一定会共赢,还可能“闹掰”。

2018年,南大光电和上海新阳先后宣布,投入ArF光刻胶产品的开发与产业化,立志打破集成电路制造最为关键的基础材料之一——高档光刻胶材料几乎完全依赖于进口的局面,填补国内高端光刻胶材料产品的空白。

显然,南大光电和上海新阳初入光刻胶领域,无法以一己之力打破技术壁垒。于是,南大光电选择与北京科华合作,上海新阳与邓海博士技术团队合作,力求共赢。

入股三年,共赢成了“双输”

彼时,南大光电是国内领先的半导体用光刻胶供应商北京科华的二股东。2015年9月,南大光电入股北京科华并对外宣称,双方将共同开展193nm光刻胶的研究与产品开发。

不过,双方的合作迟迟没有进展,直到2018年12月,南大光电宣布使用部分超募资金投资“ArF光刻胶产品的开发与产业化”项目。项目风风火火地进行,南大光电组建了自身的技术团队,并没有北京科华的身影。

据知情人士称,南大光电收购北京科华后一直存在后续有效管理问题,根本无法控制北京科华。

2019年1月,南大光电对外宣布转让北京科华全部股权。入股三年,南大光电获得了不错的投资收益,但双方并未能合力发展193nm光刻胶。

2015至2019年,国内面板产业和集成电路产业获得到了飞速发展,但南大光电、北京科华在光刻胶方面却显得有些停滞不前,双方在其中付出的时间成本,对本身都是一种伤害。

上海新阳光刻胶技术从何而来?

无独有偶,上海新阳在发力光刻胶之路也屡屡受挫。

早在2017年8月,上海新阳就曾宣布以自有资金在韩国设立全资子公司,企图通过韩国子公司组织技术团队开展黑色光刻胶产品的研发和测试,待产品成熟后转移至上海生产。

项目开展前往往是雄心壮志的,上海新阳决心为中国半导体产业的长远发展做出贡献,而项目结束也令人猝不及防。

半年之后,上海新阳就终止了对外投资设立韩国全资子公司。上海新阳表示,受多种因素影响,公司现阶段无法完成在韩国设立子公司的注册工作,公司未来考虑采取其它方式进行平板显示产业用的黑色光刻胶产品的研发及生产。

通过在韩国设立子公司组织技术团队的路已然是走不通了,但上海新阳却更加“坚定”的朝着光刻胶的道路走。

2018年3月,上海新阳宣布与邓海博士技术团队共同投资设立子公司开展193nm(ArF)干法光刻胶研发及产业化项目。子公司原定注册资本为1亿元人民币,上海新阳出资8000万元人民币,占目标公司股权的80%;邓海博士技术团队出资2000万元人民币,占目标公司股权的20%。



2018年5月,上海芯刻微材料技术有限责任公司(以下简称“芯刻微”)正式设立。不过,邓海博士技术团队并未实际出资,故此,上海新阳在2018年报中写道,其对芯刻微的认缴比例80%,出资比例为100%,对芯刻微的直接持股比例为100%。

早有知情人士透露,上海新阳与邓海博士技术团队在2018年底就出现了矛盾,2019年初已经彻底“闹掰”了。

果然,2019年5月10日,上海新阳发布公告称,经公司与合作方充分沟通并达成一致,公司拟以0元受让合作方持有的上海芯刻微公司20%股权,并解除双方签订的《193光刻胶项目合作开发协议》及基于“开发协议”达成的一切合作。

值得注意的是,邓海先生为上海新阳193nm光刻胶项目的负责人,负责光刻胶产品的研发及生产。此外,本次项目的技术服务和配套原料服务也是由邓海博士控制下珠海雅天提供的。也就是说,邓海博士技术团队是上海新阳193nm光刻胶产品的技术来源。

不知为何,上海新阳并未对外宣布新的技术来源和负责人。目前,上海新阳193nm光刻胶产品处于实验室研发阶段,在此情况下,该项目显得有些“岌岌可危”。

据知情人士透露,上海新阳已经再次转换战场,选择研发3DNAND用的KrF光刻胶。

从黑色光刻胶到ArF光刻胶再到3DNAND用的KrF光刻胶,上海新阳在光刻胶的门前来来去去,走走停停。光刻胶本就是一个技术壁垒非常高的产品,而上海新阳并不是第一个宣称要向高端光刻胶进军的厂商,一再转换赛道使其发展进程更为落后,留给上海新阳的时间,或许不多了。
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 楼主| 发表于 2019-7-20 15:22 | 显示全部楼层
5月28日,上海新阳接受了二十多家机构调研,其在会上表示,193光刻胶项目目前处于实验室研发阶段。2018年公司与邓海博士合作设立上海芯刻微进行193ArF光刻胶项目的开发,因合作未达到预期,公司与邓海博士解除合作,但公司还在按计划推进该项目,同时也在着手开发i线、KrF光刻胶及其配套材料。

被问及如何解决光刻胶项目开发过程中的光刻机、人才、原材料等问题,上海新阳透露称,公司目前已引进了曾经任职日本知名光刻胶公司的专业从事光刻胶开发的高端技术人才,组建完成新的研发团队。

此外,上海新阳还表示目前已购置了一台ASML1400型二手光刻机,用于光刻胶的研发,这台光刻机可覆盖到55nm技术节点,后续也会配置相关研发设备。光刻胶开发所用到原材料如光敏剂、感光树脂等公司也会同步研发,掌握其核心技术。
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发表于 2019-7-20 20:26 超大游击队员 | 显示全部楼层
特意查了下

导师简介:
邓海博士,国家千人特聘专家,复旦大学高分子科学系,聚合物分子工程国家重点实验室,教授,博士生导师,曾任美国陶氏化学公司(前身:罗门哈斯公司)高级研究员(1998-2001)、美国英特尔公司高级主管(2001-2014),东京应用化学公司Fellow(2014-2015)。邓海教授拥有丰富的半导体产线和光刻材料的研发经验,并且与国内外半导体厂商关系密切。

邓海 博士,教授
Employment




1998-2000

2001-2014

2014-2015

2015至今
美国罗门哈斯公司
ROHM&HAAS Company, USA
美国英特尔公司
Intel Corporation, USA
東京応化工業株式会社美国分公司
TOK, USA
复旦大学
Fudan University
高级研究员
Senior researcher
高级主任工程师
Senior engineer
院士
Fellow
教授
Professor


研究领域 (Current Research Area)
HAI DENG, Ph.D.
Professor
Email: haideng@fudan.edu.cn


下一代3nm节点先进半导体芯片制造用的光刻胶和光刻工艺的研发



1)先进半导体芯片制造用的高端光刻胶、光刻材料和相关工艺集成的研究(微电子方向)
a. 90 nm~5 nm节点高端半导体光刻材料的研发;
b. 探索Moore’s Law的材料极限,研发下一代10~5 nm分辨率的光刻材料DSA;
c. 研究DSA的图像化工艺和plasma刻蚀工艺;
d. 纳米器件的设计和加工

Education


1984-1988

1990-1992

1992-1995

1996-1996

1997-1998
中山大学
Zhongshan University, China
京都大学
Kyoto university, Janpan
东京工业大学
Tokyo Institute of Technology, Janpan
美国阿克伦大学
University of Akron, USA
加利福尼亚大学伯克利分校
University of California, Berkeley, USA

2)纳米材料的精密设计和合成 (材料方向)

新型纳米材料、器件的研发,序列可控聚合物及其纳米复合材料的研究


代表性论文 (Selected Publications)
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发表于 2019-7-21 04:26 超大游击队员 | 显示全部楼层
高科技还是靠自己吧!引进之路失败了。
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发表于 2019-7-21 20:39 | 显示全部楼层
橘生南为橘,生北为枳,这是很多海归落地的通病,有自身的也有外界的,越高端的问题越明显,中外高科技产业环境差距太大
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发表于 2019-7-21 22:09 超大游击队员 | 显示全部楼层
chenxich 发表于 2019-7-21 20:39
橘生南为橘,生北为枳,这是很多海归落地的通病,有自身的也有外界的,越高端的问题越明显,中外高科技产业 ...

还是基础环境不行,追赶的艰难,哼哧哼哧赶上去,别人又领先一截或另辟蹊径了
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发表于 2019-7-21 22:42 | 显示全部楼层

RE: 进军光刻胶屡屡受阻,上海新阳路向何方?

dreamracer 发表于 2019-7-21 22:09
还是基础环境不行,追赶的艰难,哼哧哼哧赶上去,别人又领先一截或另辟蹊径了

政府招商引资都还是二三十年前招揽出口加工企业的思路,上来就是指望你买地买房,官员也没有专业知识,也不敢冒险,整个体制就没有容错机制,大家都求稳,最终还是唯GDP。资本热钱泛滥,都热衷于投资赚快钱,炒作各种风口,这种浮躁浮夸的大环境下,对于长周期、高风险的高科技项目基本没有生存的空间,除非是国家立项的大科学项目,有举国体制支撑,但毕竟要产业化,还是需要市场机制来转化效益,人财物这些要素的聚集和运转政府最多是引导,大部分还需要靠市场运作。国内半导体产业链,断档20多年,没人了。
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发表于 2019-7-21 22:47 超大游击队员 | 显示全部楼层
现在太多太多项目骗政府补贴了,骗得简直让人无语,半导体还不是最严重的,软件其他高科技等等行业骗补更加严重。
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发表于 2019-7-22 07:50 超大游击队员 | 显示全部楼层
本帖最后由 sailormoons 于 2019-7-22 07:57 编辑
dreamracer 发表于 2019-7-21 22:47
现在太多太多项目骗政府补贴了,骗得简直让人无语,半导体还不是最严重的,软件其他高科技等等行业骗补更加 ...


有什么证据证明新阳是骗补贴的话 欢迎拿出来或者举报 大家一起举报也行

做高科技很难 不成功者是多数 但是总会为后来者留下一些经验 锻炼一些人才 这也是宝贵的财富
不要成功了就是英雄 不成功就是骗子
况只是暂时未成功 未来能不能成功还未可知
挫折不等于失败 更不等于骗子

莫须有的罪名不要扣
中国的创新氛围 就是被你们这些键盘喷子给搞坏的
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发表于 2019-7-22 08:01 超大游击队员 | 显示全部楼层
sailormoons 发表于 2019-7-22 07:50
有什么证据证明新阳是骗补贴的话 欢迎拿出来或者举报 大家一起举报也行

做高科技很难 不成功者是多 ...


就是20个,18个是”骗子”,那也是成功的
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发表于 2019-7-22 08:05 超大游击队员 | 显示全部楼层
本帖最后由 sailormoons 于 2019-7-22 08:06 编辑
登陆新竹 发表于 2019-7-22 08:01
就是20个,18个是”骗子”,那也是成功的


高科技太难了 遇到挫折甚至失败是大概率的事情
一时遇到挫折的人都被打成骗子 以后谁还敢做
谁还敢支持这些人做

只有每天敲键盘的废宅 永远不会遇到挫折 永远不会失败
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发表于 2019-7-22 08:07 超大游击队员 | 显示全部楼层
sailormoons 发表于 2019-7-22 08:05
高科技太难了 遇到挫折甚至失败是大概率的事情
一时遇到挫折的人都被打成骗子 以后谁还敢做
谁还敢支 ...

是的,集中人力。集中资金,公关
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发表于 2019-7-22 08:07 超大游击队员 | 显示全部楼层
有些人遇到一个骗子就怀疑人生 怀疑社会 怀疑世界 只能说太极端了
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发表于 2019-7-22 10:01 超大游击队员 | 显示全部楼层
sailormoons 发表于 2019-7-22 07:50
有什么证据证明新阳是骗补贴的话 欢迎拿出来或者举报 大家一起举报也行

做高科技很难 不成功者是多 ...

新阳未必是骗补,但是骗补的人不要太多,之前那个台独分子在厦门ppt骗补骗了几十万被爆出来,也是因为他是台独骗成后又得意忘形而已,爆出来的不过冰山一角
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发表于 2019-7-22 10:03 超大游击队员 | 显示全部楼层
sailormoons 发表于 2019-7-22 08:07
有些人遇到一个骗子就怀疑人生 怀疑社会 怀疑世界 只能说太极端了

工作多几年,多了解下社会,别再那么幼稚,外面一堆咨询中介公司,专门帮人搞这个,骗补已经是成熟产业了
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发表于 2019-7-22 15:26 | 显示全部楼层
昆山之前发布的支持芯片产业发展的奖励政策,里面说芯片设计企业一年做到5000万、1个亿、10个亿的各奖励多少多少,估计政府部门也不网上搜一下,一年能做到这个营业额的芯片公司全中国才有多少家?能有这个实力的公司人家凭什么到你昆山来
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发表于 2019-7-22 16:52 超大游击队员 | 显示全部楼层
本帖最后由 sailormoons 于 2019-7-22 16:53 编辑
dreamracer 发表于 2019-7-22 10:01
新阳未必是骗补,但是骗补的人不要太多,之前那个台独分子在厦门ppt骗补骗了几十万被爆出来,也是因为他 ...


那与新阳有什么关系
谁的事谁承担 有证据就去举报 该罚罚该抓抓

没问题的企业就继续支持
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发表于 2019-7-22 16:55 超大游击队员 | 显示全部楼层
本帖最后由 sailormoons 于 2019-7-22 17:01 编辑
dreamracer 发表于 2019-7-22 10:03
工作多几年,多了解下社会,别再那么幼稚,外面一堆咨询中介公司,专门帮人搞这个,骗补已经是成熟产业了


对社会的了解告诉我 对任何言论都不能偏听偏信
对社会的了解告诉我 人不能走极端 不能拿个例当做普遍现象
对社会的了解更告诉我 因为一点问题就怀疑这个怀疑那个的人 才是不做实事的幼稚的愤青 完全无菌的温室才是他们梦想的世界 现实世界任何风雨都会让他们对人生充满怀疑愤恨
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发表于 2019-7-22 17:01 超大游击队员 | 显示全部楼层
sailormoons 发表于 2019-7-22 16:52
那与新阳有什么关系
谁的事谁承担 有证据就去举报 该罚罚该抓抓


对号入座新阳,是你自己做的事情,你自己树立的靶子,自己打,有意思么?
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发表于 2019-7-22 17:02 超大游击队员 | 显示全部楼层
sailormoons 发表于 2019-7-22 16:55
对社会的了解告诉我 对任何言论都不能偏听偏信
对社会的了解告诉我 人不能走极端 不能拿个例当做普遍 ...

做鸵鸟,把头埋在沙子里有用吗?问题要正视,才有解决的可能
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发表于 2019-7-22 17:03 超大游击队员 | 显示全部楼层
本帖最后由 sailormoons 于 2019-7-22 17:22 编辑
dreamracer 发表于 2019-7-22 17:01
对号入座新阳,是你自己做的事情,你自己树立的靶子,自己打,有意思么?


嗯 你若不是说新阳 那就不是呗 那更好呀
只是 这个帖子本来是讨论新阳遇到挫折的问题 有人插进来说中国半导体企业大量骗补贴 拿不出证据之后又说不要对号入座 就当看戏吧
我就是看不起某一类抓住一点问题 怀疑这个怀疑那个 喷这个喷那个的喷子
请勿对号入座
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发表于 2019-7-22 17:05 超大游击队员 | 显示全部楼层
dreamracer 发表于 2019-7-22 17:02
做鸵鸟,把头埋在沙子里有用吗?问题要正视,才有解决的可能


有一点问题就无限放大 一件事有问题就打倒一片 这不是鸵鸟 这是废柴喷子 头脑有问题或者屁股有问题
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发表于 2019-7-22 17:05 超大游击队员 | 显示全部楼层
sailormoons 发表于 2019-7-22 17:03
嗯 你若不是说新阳 那就不是呗 那更好呀

我就是看不起某一类抓住一点问题 怀疑这个怀疑那个 喷这个 ...

你看不起看得起无所谓,问题就在哪里,敢于正式问题是解决问题的第一步
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发表于 2019-7-22 17:06 超大游击队员 | 显示全部楼层
本帖最后由 sailormoons 于 2019-7-22 17:08 编辑
dreamracer 发表于 2019-7-22 17:05
你看不起看得起无所谓,问题就在哪里,敢于正式问题是解决问题的第一步


喷子愤青解决不了任何问题
整天怀疑世界 抓住一点问题无限放大的人 什么事也做不了 什么问题也解决不了

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发表于 2019-7-22 17:08 超大游击队员 | 显示全部楼层
你很好的表现了什么叫做喷子和愤青
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发表于 2019-7-22 17:09 超大游击队员 | 显示全部楼层
dreamracer 发表于 2019-7-22 17:08
你很好的表现了什么叫做喷子和愤青

与君共勉

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发表于 2019-9-11 19:25 | 显示全部楼层

RE: 进军光刻胶屡屡受阻,上海新阳路向何方?

不要着急,是金子总会发光的
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发表于 2019-9-11 19:41 超大游击队员 | 显示全部楼层
193nm之前不是说大概在5年内能搞出来的么?好像是以前的帖子里看到的
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